ˆ.. ³ Ì μ,.. Ò±,. μë³, ˆ.. Ê Ò,. Š. ³,.. μ Ñ Ò É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ, Ê. .. ²Ê±μ ˆ É ÉÊÉ É μ É Î ±μ Ô± ³ É ²Ó μ Ë ±, Œμ ±

Transcript

1 ˆ ˆŠ Œ ˆ ˆ Œ ƒ Ÿ Š : : : ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ ˆ Œ Š Š ˆ ˆ Œ ˆ.. ³ Ì μ,.. Ò±,. μë³, ˆ.. Ê Ò,. Š. ³,.. μ Ñ Ò É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ, Ê.. ²Ê±μ ˆ É ÉÊÉ É μ É Î ±μ Ô± ³ É ²Ó μ Ë ±, Œμ ± ² ³μ³ μ μ É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ ³ Ö ±μôëë Í Éμ Ò² Ö Î ÉÒÌ ³ É ²²μ, ² μ, ³μ Ë ÒÌ ² μ, μ²ê μ μ ±μ Ò μ±μμ É μ μ μ - μ² É Î ±μ μ Ë É x μ ²ÊÎ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò μ± Ì Ô. μ μ μ - Ê μ ³μ ÒÌ ³ Ì ³μ ²Ó μ μ Ò² Ö ³ É ²μ Ò μ±μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ. É Ì³ Ö ³μ ²Ó É ²μ μ Òϱ ( μ ÖÎ μ É ± μ ) É ³ ÉÊ - μ ³μ ÉÓÕ É ³μ ³ Î ± Ì ³ É μ (Ê ²Ó μ É ²μ ³±μ É É ²μ μ μ μ É ) ²Ö μ μ ²μ ÒÌ ³μ μ- μ² ± É ²²μ, É ± ²Ö ³ μ μ ²μ ÒÌ É Ê±ÉÊ (³ É ²μ ). É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ Î ² μ μ Ï Ö μ É ³Ò ËË Í ²Ó ÒÌ Ê - Î É ÒÌ μ μ ÒÌ ²Ö É ³ ÉÊ Ô² ±É μ μ Ï ÉμÎ μ μ É ³ μ± Ê μ²ó É ±Éμ Ò É μ μ ÉÖ ²μ μ μ ³μ É μé ³ t ±μμ É: ²Ó μ r μ μ²ó μ z, ÊÎ Éμ³ μ ³μ ÒÌ Ë μ ÒÌ Ìμ μ, É ± Ì ± ± ² ². μ μ Ê μ²êî ÒÌ Ê²ÓÉ Éμ. The results of sputtering coefˇcient measurements of pure metals, alloys, amorphous alloys, semiconductors and Highly Oriented Pyrolytic Graphite under swift heavy ion irradiation are presented. The possible mechanisms of strong sputtering of materials with high level of defect concentration are discussed. The three dimensional thermal spike model ( hot ion track ) with the temperature dependence of thermo-dynamical parameters (speciˇc capacity and thermal conductivity) in the case of one layer mono- and polycrystals and also for multi-layers systems (materials) is formulated. The results of numerical analysis of introduced system of spatial differential equations for the calculation of lattice and electron subsystem temperatures around and along the swift heavy ion trajectory versus the time t and coordinates: radial Å r and longitudinal Å z with taking into account of possible phase transitions such as melting and evaporation are presented. The discussions of obtained results are made. ˆ ˆ ² μ Í μ ÒÌ ÔËË ±Éμ ±μ É Ê±Í μ ÒÌ ³ É ² Ì É μ Ö μ μ ³ Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ô É Î ± Ì Ö ÒÌ ±Éμ μ, c Ï ³ μ ² ³Ò Ö ÒÌ Ë ±Éμ μ, Ò ÒÌ

2 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1593 μ É ³ μ ÊÕÐ Ì Î É Í ( É μ μ ±É ² Ö, μ ±μ²±μ ² Ö Ö Ê , Ô² ±É μ μ ) γ-± Éμ. ² ±É μ Ö μ- ³Òϲ μ ÉÓ Ëμ ³Ê² μ ² μ Í Ë Î ± Ê ²μ Ö É μ Ö ± μ²ê μ μ ±μ Ò³ ³μ μ± É ²² ³, ³ ² É μ Ò³ Ô² ±É Î ± ±- É Ò³ μ μ Ò³ ² ±Í Éμ Ò³ ³ Ö³ Ò μ±μ³ Ê μ Ì ±μ Í É Í É ³, ÎÉμ Ò μ ÉÓ Ì μ μ ÖÐ ² μ² ÊÕÐ ²μ ( ³ ² É Í ³ É ± ²μ μ Å μ² ÊÕÐ ²μ SiO 2 ). ˆ³ ² É Í Ö É ±μ μ μ ³ μ μ ³ ÒÌ Ô² ±- É μ ÒÌ Ê É μ É, μ μ μ É μ²óï Ì É ²Ó ÒÌ ³ ± μ Ì ³ Ò μ- ±μ ³±μ ÉÓÕ ³ÖÉ Ö Ê Ì. μ ±μ ³ Î ±μ μ μ É É μ É μ³ ±μ ³ Î ± Ì ± É ±Ê É ÒÌ ÊÉ ±μ ³² μé μ ²μ ² μ ² Ö Ö ±μ ³ Î - ± Ì ²ÊÎ μ Éμ Ò Ô² ±É μ Ò Ê É μ É (±μ³ ÓÕÉ Ò É..), μ² Î Ò É, μ±ê²ö Ò μ Ò Ê μ μ μ Ê μ. ÉμÖÐ ³Ö μ Ê É Ö μ²êî ² μ ±Ê ³ Ê μ Ò μ ±É μ μ- Õ É Í μ μ É Í μ Ì μ É Ê Ò, É É μ μ ÊÉ ± ³². Ÿ μ, ÎÉμ μ ² ³Ò, Ö Ò μ É ³ μ ÊÕÐ Ì ²ÊÎ μ μ Ê μ É ± Ì É Í, Ê ÊÉ ÉμÖÉÓ Ð μ² μ É μ - μé ÊÉ É Ö Ê É³μ Ë Ò. ˆ ÊÎ Ò ² μ Ö μ μ ÒÌ Í μ ² Í μ ±Éμ μ μ Õ É ³μÖ ÒÌ ±Éμ μ É Š Œ Š É ³Ê² μ ² ÊÎ ³μ É Ö ² ±μ ²² μ É μ ² ³Ò μ É ±μ ±Éμ μ μ μ É. Š μ³ Éμ μ, μ ² μ Ò É μ ÕÉ Ö μ ³ Ò É Ì- μ²μ μ²êî Ö μ É Ê±ÉÊ μ μ ² Î ÒÌ ³ É ² Ì [1,2]. μ- ² μ É ± Ì μ É Ê±ÉÊ ³ ÕÉ Ó³ μ Î ²Ö μ ³ μ ʱ, μ³òï² μ É É Ì μ²μ. Š ± É μ [3], ÊÎ Ô³ Éμ³μ μ Ì μ É ±μéμ- ÒÌ ³ É ²μ Ì μ ²ÊÎ μ ±μ²± ³ ² Ö Ò² μ²êî Ò Ò- μ± Î Ö ±μôëë Í Éμ Ò² Ö. Éμ Ö ² Ò²μ μ - Ê Ê ³ Ò² ³ [3]. É Ê ±μ É ²Ó μ É Ì ±, Éμ³ Î ² μ ±μ É ²Ó ÒÌ ±μ² Í ÉÖ ²ÒÌ μ μ Ò μ± Ì Ô, É ³Ê² Ê É ² μ μí μ Ò² Ö ±μ É Ê±Í μ ÒÌ ³ É ²μ (± ± - ²μ, ÔÉμ Ì μ³μ ± ² Ò ÕÐ É ² ), ±μéμ ÒÌ μ ÕÉ Ö μ- É μ ±μ É ²Ó Ò ±μ²óí, μ μ μ É ÔÉμ ± É Ö Ò² Ö ÊÉ μ Ì μ É ±μ² Í μ É ³ Î É ± ² ³ÒÌ μ μ, Ö ÒÌ ³μ² ±Ê² Ì μ É ÉμÎ μ μ [4]. μ ² ÊÕÐ ² μ Ö Ò² Ö É ± Ì É ² μ É ³ μ ²ÊÎ Ö Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ- ³ μ± ² ²Ó ÊÕ ³μ ÉÓ Ò² Ö μé Ê μ Ö Ê Ê Ì μé Ó Ô μé Ìμ μ μ μ ÉμÖ Ö ³ É ² ( ³, ±μ Í É Í ³ Ê Ì Î ) [5Ä12]. Î ² Ò ÒÏ μ ² É, ± ÕÐ Ö μ É μ Í μ μ Ë ± É μ μ É ², ³ ÒÌ μ ² É Ê±, μ ³ ÒÌ É Ì μ²μ-

3 1594 Œˆ ˆ.. ˆ. μ³òï² μ É, μé μ ² É ²Ó ÒÌ ² μ Í μ ÒÌ ÔËË ±Éμ ² Î ÒÌ ³ É ² Ì Ì μ ²ÊÎ μ ±μ²± ³ ² Ö - μ ±É ÒÌ Ì ³ Î ± Ì Ô² ³ Éμ (± ± ÔÉμ μ ÊÐ É ²Ö²μ Ó ), μ ³ ±μ Ô Ò μ± ³ É μ ÉÖ³ Êαμ, ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò- μ± Ì Ô, Ò É Ò³ É μ ³ Ô μ² 0,1 ŒÔ, Ô² ±É μ ³ Ô 1 ŒÔ ÒÏ γ-± Éμ. Ÿ μ, ÎÉμ É μ Ï É μ ³ ÕÐ Ì Ö ³μ ² μ μ ÒÌ μ ² μ É ²Ó ÒÌ É μ Ë μ³ μ²μ Î ± Ì ³μ ² ²Ö μ - Ö ± Ö ÔËË ±Éμ ³μ É Ö o ÊÕÐ Í ³ É ² ³ ³ ÕÉ μ É μ Î, μ μ μ É ÔÉμ ± É Ö μ² ÉμÎ ÒÌ ±μ² Î É ÒÌ ± μ ± ÕÐ Ì Í μ - ÒÌ μ É ÖÌ ÔËË ±Éμ. ³ É ³, ÎÉμ ³μÉ Ö μ μ²ó μ ² É ²Ó Ò μ ² μ Ê ²μ Ö μ μ Ö É ±μ ÉÖ ²ÒÌ Ö ÒÌ Î - É Í Ò μ± Ì Ô Å μ μ É ÒÌ É ² Ì Å Ö Ò É ²ÖÌ μ Ì μ [13]. ±, μ±μ²μ ÖÉ ÖÉ ² É Ò² μ Ò ³μ ², μ ÑÖ ÖÕÐ Î Ò μ ± μ Ö É ± Ô² ±É ± Ì ³ É ²Ó μ ± μ ²ÊÎ Õ Ì μ ±μ²± ³ ² Ö Ö, ³ μ: ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± [12, 14Ä16] ³ Ì ³ ±Ê²μ μ ±μ μ Ò [17, 18]. μ³. 1 μ± Ò É É Ö É ± É μ³ É ². Ö μ²μ, ±μéμ ÒÌ μ μ Ò Ò ³μ ², μ μ μ μ- É ÉμÎ μ É. ̳ Ö ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± Ê É μ Ê μ² É ²Ó μ. ³ ³ Ò ³μ ² μ²ó ÊÕÉ Ö Éμ ² μ É ÉμÖÐ ³Ö, μ μ μ É ÔÉμ ± É Ö ³μ ² É - ³ Î ±μ μ ±. μ Ò Í ±² Î ± Ê ±μ É ² μ μ²öõé μ²êî ÉÓ μ Ò μé ² ± Ì μ ³ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ Ô² ³ Éμ Å ²μÉÓ μ μ μ Ê [1,2,19] Å Ò μ±μ Ô E μ /M μ 10 ŒÔ /.. ³., E μ M μ Å μ² Ö Ô Ö ³ μ μμé É É μ. Ò Ê ±μ É ² ÉÖ ²ÒÌ Î É Í, É ± Ì ± ± ÉÖ ²Ò ±² É Ò ³ - É ²²μ Au 2,Au 4 μ² ² ± Ì ±² É μ ( ³., ³, μéò [20Ä23] Í É Ê ³ÊÕ É ³ ² É ÉÊ Ê), Ê ² μ ÒÌ ±μ³ ² ± μ C 5, C 10, C 20, C 30, C 40 Ëʲ² μ C 60 [19,24Ä27], ÕÉ μ ³μ μ ÉÓ μ²êî ÉÓ μî Ó Ò μ± Ê μ Ó Ê Ê Ì μé Ó Ô (E inel z = ( E z ) inel = ±Ô / ³). ³ ³Ò³ ²Ö μ ÑÖ Ö μí μ ³μ É Ö Ò μ±μ μ ÊÕÐ Ì Î É Í ³ É ² ³ ² Ê É μ²ó μ ÉÓ ±μéμ ÊÕ ±μ³ Í Õ ³μ ² É ³ Î ±μ μ ± ±Ê²μ μ ±μ μ Ò. Éμ Ìμ μïμ μ - μ μ. 1. Œμ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± Ó³ Ï μ±μ ³ Ö É Ö ²Ö μ - Ö Í μ ÒÌ Ö ² Ô² ±É ± Ì μ μ μ É Ê±ÉÊ ÒÌ ³μ Ë ÒÌ ² Ì [28]. μ ² ÖÉ ² É Ö Ò² μ Ò μ ³ ÒÌ ³ Éμ - ² μ Ö É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É É ÒÌ É ²: ± ÊÕÐ Ö ÉÊ ²Ó Ö

4 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ É Ê±ÉÊ É ± É μ³ É ², μ Ö ³± Ì ³μ ² É ³ Î ±μ μ ± Ô² ³ É ³ ³ Ì ³ ±Ê²μ μ ±μ μ Ò [30] ( Œ) Éμ³ μ- ²μ Ö ³ ± μ ±μ ( Œ) [1,2]. É ³ Éμ Ò ÔËË ±É Ò ²Ö ÊÎ Ö μ³ É Î ± Ì ³ É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É Ò μ± ³ μ É É Ò³ Ï ³, ²μÉÓ μ ±μ²ó± Ì μ³ É μ ³. μ³μðóõ ÔÉ Ì ³ Éμ μ É μ É Ö μ ³μ Ò³ ² μ Ì ±É ÒÌ μ μ μ É μ Ì μ É μ ² μ ²ÊÎ Ö Ò É Ò³ ² ±μô - É Î ± ³ μ ³, μ μ μ É ÔÉμ ± É Ö ÊÎ Ö μí μ Ò² - Ö. ² Î ±μôëë Í Éμ Ò² Ö μ Î Ö S sput > 10 É./ μ É ²Ó É Ê É μ ÊÎ É μí Ò² Ö Ö Ê Ê Ê ³ ± - ± Ò³ Ò² ³ Ê Ê μ μ ³ Ì ³ Ò² Ö [3], É. ±. ± ± - Ö ³μ ²Ó Ê Ê μ μ Ò² Ö ± Ò É ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö S sput 1 É./ μ, ÔÉμ³ Ì ±É Ò μ É Ò² Ö ÊÐ É μ ÖÉ μé Ö Ë ±Éμ μ : 1) μ É Í Êα μ³ ÊÕÐ Ì μ μ μ μé μï Õ ± μ Ì μ É ³ É ², 2) μ² μ Ô μ μ, 3) Ô

5 1596 Œˆ ˆ.. ˆ. Ö Éμ³μ μ Ì μ ÉÓÕ, 4) É ³ ÉÊ Ò μ ²ÊÎ Ö ±μéμ ÒÌ Ê Ì ³ É μ [29Ä31]. μí Ò Ò² Ö Ò Ò ÕÉ μ μ ² Î ÒÌ μ μ μ É μ ²ÊÎ ÒÌ μ Ì μ ÉÖÌ: 1) Ö ²ÊÎ μ Ìμ É μ² μ ± μ Ì μ É μ Í, 2) μ ±μéμ μ μ μ μ μ μ μ - ²Ó Ë, 3) μ μ Ò ÉÊ μ, Î ÉÊÕ ²Ó μ Ëμ ³Ò, 4) ³ Ì ³ Î ±μ μ μ É ² μ Ì μ É Ö Ê Ì ÊÏ ± ± μ- ²μ É ²Ó Ò³ ÔËË ±É ³, É ± μé Í É ²Ó Ò³. μ ² ³ É ³ Éμ ²ÊÎ μ³ μ ± μ ³ ± Ì Ô, ²ÊÎ μ μ Ò μ± Ì Ô. ± ³ μ μ³, ² μ μ μ μ É, μ ± ÕÐ Ì μ ²ÊÎ - ÒÌ μ Ì μ ÉÖÌ, μ³μðóõ ³ ± μ É Ê±ÉÊ μ μ ² Ò μ± ³ - Ï ³ μ μ²ö É ² ÉÓ ±²ÕÎ μ ³ Ì ³ ³μ É Ö ³ Ê Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ Î É Í ³ É Ò³ É ² ³. ˆ ³ Ö ±μôëë Í - Éμ Ò² Ö ³ É ² Ì ² Î Ò³ ³ Éμ ³ Å μî Ó Ìμ μï ÊÉÓ ²Ö ² Í ÔÉμ. Ò² Ô² ±É ±μ [7, 17Ä19, 23, 32Ä37] μ Ì μ É Ö Ô μ Ö ³μ Ë ÒÌ ³ É ²μ [20, 27, 33, 38, 51] Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ Ö- Ò³ ÉÖ ²Ò³ Î É Í ³, ± ± ²μ, Ò Ò ³ Éμ³μ μ Ì μ É ³ Ï Î É μ Ì μ É μ μ ²μÖ ³ É μìμ- Ö Ò μ±μ μ ÊÕÐ Î É ÍÒ, ³ ±² É μ μ Ì μ É ÒÌ Éμ³μ ² Í ²ÒÌ μ²óï Ì, ±μéμ μ μ μ Ìμ É. Ÿ μ, ÎÉμ Éμ³μ ³ Ï ²μÖ ² μ Ì μ É Ê É μ² ÔËË ±- É Ò³, ² É ³ ÉÊ ÔÉμ³ ²μ Ê É ÒÏ É ³ ÉÊ Ò Ê ² ³ Í - Ö. ÔÉμ³ ²μ É ± Ê É μ ± ÉÓ Ò μ±μ ² [37Ä39], ÎÉμ ³μ É Ê ² ÉÓ μí Ò Ò² Ö. ÉμÉ ÔËË ±É Ê É μ Ê. 2. μ μ μ ÉÓ μ ³ ÒÌ Ê ±μ É ² μ É ÉÓ Ô μ μ ²μÉÓ μ E μ /M μ 10 ŒÔ /.. ³. μ Î É, ÎÉμ ³μ μ μ²ó μ ÉÓ ²- ² ²Ó Ò Êα μ μ Ò μ±μ É μ É, ±μéμ Ò μ μ²öõé μ É - ÉÓ ²Ó μ Ò μ± Ì ²μÉ μ É Ô² ±É μ ÒÌ μé Ó Ô ³ É - ² Ì, ÔÉμ³ ² Ò Ô² ±É μ Ò μé Ô μ ³μ ÊÉ μ É ÉÓ 70 ±Ô / ³, ± ±, ³, ²Ö μ μ 238 U c Ô E μ 10 3 ŒÔ ³ Ï ± ²Ö. μìμ ÉÖ ²μ μ μ Î Ô² ±É Î ± μ²ê μ μ ±μ Ò ³ É ²Ò μ ² É μ É ÉμÎ μ Ò μ± Ì Ê Ê Ì μé Ó Ô μ É Ez inel >Eshres inel ± μ μ Õ ² É É ÒÌ É - ±μ [24,26,32Ä36,40,41] ± Ê Ê μ³ê Ò² Õ μ Ì μ É Ò μ± ³ ±μôëë Í É ³ Ò² Ö (S sput > 10 É./ μ ). Ó Ez inel Eshres inel Å E inel z Ê Ê μé Ô μ μ μ μ Î Ê Ê Ì μé Ó ²Ö μ - μ Ö É ±. É Î ÊÌ-É Ì ÖÉ ² É μ ² μ É ²Ó Ò ÊÎ Ò Ê ² Ö Ò² ² Ò ² μ Ö ² Ö Ê Ê μ μ Ò² Ö ( ³. [3, 36] Ò²± Ì). É ² μ Ö Ò² Î ÉÒ μ²ó μ Ö μ ±μ²±μ -

6 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1597 ² Ö ²Ö ÊÎ Ö Ò² Ö ² Î ÒÌ ³ É ²μ. Ò μ² Ò μéò μ μ² ² ÒÖ ÉÓ Ö μ μ μ É μ Ì μ É ÒÌ Ö ² ³ É ²² Ì, ² Ì, Ô² ±É ± Ì, μ²ê μ μ ± Ì ³μ Ë ÒÌ ³ É ² Ì. - ³, ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö Ô² ±É ± Ì ³ ²±μ ÒÌ ³ Ï ÖÌ Ò² 2Ä3 μ Ö ± ² Î Ò μ²óï, Î ³ ± Ê μ ÉÒÌ ³ É ²² Î - ± Ì ³ Ï ÖÌ [3, 5]. μ Ò μ±μô É Î ± Ì Ê ±μ É ² ÉÖ ²ÒÌ μ μ Ò μ± ³ É μ ÉÖ³ μ ÒÌ Êαμ ( μ² μ / ) É ³Ê² Ê É Ï μ ² É ² μ ² Ö Ö μ ²ÊÎ Ö Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ μ É É ÒÌ É ² [1, 2, 36, 37]. μ²óï Ö Î ÉÓ É ± Ì ² μ μ Ö- Ð ÊÎ Õ μ μ ÒÌ Í μ ³μ É ²Õ Õ μ ² - É μìμ Ö Î É Ò É ² ÉÖ ²ÒÌ Ö ÒÌ Î É Í, É ± Ì ± ± ±² É Ò μ μ Au n,ar + n,(n 2 ) + n. [11,19Ä23] μ μ²êî Ò μ² ²μ Ò μ³ ÊÕÐ ±² É Ò Éμ³μ Å ³ μ μ Éμ³ Ò Ê ² μ - Ò ±μ³ ² ± Ò [22Ä27]. Ò μ² Ò ² μ Ö μ Ò² Õ ³ É ²μ μ μ² ² Ëμ - ³Ê² μ ÉÓ ±μ²ó±μ É μ É Î ± Ì Ë μ³ μ²μ Î ± Ì μ Ìμ μ ²Ö μ - Ö ²Õ ³ÒÌ Ö ² : ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± Å μ ÖÎ μ É - ±, ³μ ²Ó ±Ê²μ μ ±μ μ Ò [3, 36, 42, 43], Ê Ê μ³ö ÊÉÒ ÒÏ, ³μ- ²Ó μ μ μ Ö μ μ μ Ì μ É μ μ ²μÖ [3], ³μ ²Ó μ² μ μ μ [3, 5], ³μ ²Ó μ ÖÎ μ ÖÉ [3] ±μ²ó±μ Ê Ì ±μ³ Í ÔÉ Ì μ Ìμ μ. Š μ ² Õ, ³ Ì ³Ò ³ Ö μ É ³ É ²μ Ì μ ²ÊÎ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò μ± Ì Ô μ Ì μ μ² Ö Ò. Š μ³ Éμ μ, ÔÉμ μ ² É ² μ μ Ìμ ³μ ³ É ÉÓ, ± ± ³ - ³Ê³, ±É. Ò ± É Ö ² Ö Ö Ê ²μ μ μ μ μ ²ÊÎ Ö: É ³ ÉÊ Ò μ ²ÊÎ Ö T μ ², μ μ Ë²Õ μ μ (F μ t), ² Ö Ö ±μ μ É μ μ V μ =(2E μ /M μ ) 1/2, Ê μ Ö Ê Ê Ì Ez inel (z) Ê Ê Ì Ez el μé Ó Ô μ. Éμ μ ± É Ö ² Ö Ö ³ É μ ³ Ï : Ô - Ö Éμ³μ μ Ì μ É E Ö surf μ Ñ ³ ³ Ï E Ö, bulk Ô ±É Í ³ Í ± EV m ³ μê ²Ó ÒÌ Éμ³μ Em I, μ μ μ μ Ô ³ Ð Ö Éμ³μ E d, ±μ Í É Í ³ C ³ (z), ±μ Í É - Í Ë ±Éμ C Ë (z) ( ³ ÕÉ Ö Ê ÉμÎ Î Ò Ë ±ÉÒ, ±² É Ò Ë ±Éμ, μéö Ò Ë ±ÉÒ: ²μ± Í, ɲ ³ μê ²Ó μ μ ± μ μ μ É μ, ± μ Ò μ Ò, ± ² Ö Ê Ì Ë ), ±μ Í É Í μ μ - ÒÌ Ô² ±É μ μ n free e ( μ μ ± Ì, μ²ê μ μ ± Ì Ô² ±É ± Ì), ± É ²²μ Ë Î ±μ ³³ É Ï É±, μ³ μ É Ê±ÉÊ Ò (³μ μ± - É ²² Î ± Ö, μ² ± É ²² Î ± Ö ² ³μ Ë Ö), ³ Ëμ ³Ò Ì Ô Ö μ ²μ ±μ, É ± μ Ñ ³ μ, μ Ì μ É μ Ë μ μ É Ê±ÉÊ. ³ Ò É ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ μ μ Ò μ± ³ Ê μ ³ Ê Ê Ì μ- É Ó Ô ²μ Ê ± ²Ó ÊÕ μ ³μ μ ÉÓ ²Õ ÉÓ ³ μ É μ μ μ μ-

7 1598 Œˆ ˆ.. ˆ. É μí μ μ Ö Ë ±Éμ Ì ² Ö Ö Ò² É ÒÌ É ², ±μéμ Ò ²Ó Ö μ ÑÖ ÉÓ Éμα Ö É Í μ μ μ μ Ìμ μ²ó- μ ³ ± ± μ μ ³ Ì ³ Ê Ê Ì Éμ²± μ [29Ä31]. μ ³μ Ë ÒÌ ² μ μ ²ÊÎ Ì Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ ± ²Ó μ μé² Î É Ö μé μ Ö ± É ²² Î ± Ì ³ É ²² Î ± Ì ² μ ² É μé ÊÉ É Ö Ì ²Ó μ μ Ö ±. μ ² ÕÉ ² ÏÓ ² ³ μ Ö ±μ³ μ²μ Éμ³μ, μôéμ³ê ² μ μ μ μ μ- μ ÖÎ Ì Ô² ±É μ μ μé μ É ²Ó μ μ²óï Ö, ± ± ʲÓÉ É, μ ² - É μ± Ê É ±Éμ ÉÖ ²μ μ μ ³μ ÊÉ ÒÉÓ μ É ÊÉÒ Ò μ± É ³- ÉÊ Ò, É.. ³μ É μ μ Ò ÉÓ Ö É ± μ É Ê±É μ μ ² ± É ²² μ μ μ ² É [28,39,44]. μôéμ³ê ³μ Ë Ò ² Ò Å É Ò μ Ñ ±É ²Ö ² μ Ö Í μ ÒÌ Ö ² É ÒÌ É ² Ì ²Ö μ ± É μ É Î ± Ì Ò μ μ ³μ ². ²Ó μ μ μ μ Å μ ÉÓ μ Ò Ô± ³ É ²Ó Ò Ê²ÓÉ ÉÒ, μ²êî Ò ² μ ³μ É Ö Ò É ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ μ μ μ- Ì μ É Ò³ μ Ñ ³ Ò³ É Ê±ÉÊ ³ ² Î ÒÌ É ÒÌ É ² (Î ÉÒÌ ³ - É ²²μ, ³ É ²² Î ± Ì ³μ Ë ÒÌ ² μ, Ò μ±μμ É μ μ μ μ- ² É Î ±μ μ Ë É ( ƒ), ³μ μ± É ²²μ μ²ê μ μ ±μ Ô² ±- É ±μ ). Ê ÉÓ Í μ Ò ÔËË ±ÉÒ, Ò Ò Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³, É ± ± ± Ò² μ Î ÒÌ Í μ ÒÌ μ -, μ ² ÊÕÐ μí Ò Ô μ²õí Ë ±Éμ. É É Ì³ ÊÕ ³μ- ²Ó É ³ Î ±μ μ ± ²Ö ÒÎ ² Ö Ô² ±É μ μ T e (r, z, t) Ï ÉμÎ μ T i (r, z, t) É ³ ÉÊ μ Ñ ³ μ μ ³³ É μ± Ê É ±Éμ ÉÖ - ²μ μ μ, É.. μ ÖÎ ³ É ± ÉÖ ²μ μ μ. ± Ê ÊÉ ÊÎ ÉÒ ÉÓ Ö μ ³μ Ò Ë μ Ò Ìμ Ò É Ö Ë Ä ² ² (T i T melt ) ± Ö Ë Ä (T i T evap ). μ μ Éμ É É Ì ²μ : μ³ É ² Ò Ô± ³ É ²Ó- Ò Ê²ÓÉ ÉÒ μ Ò² Õ ² Î ÒÌ ³ É ²μ μ ²ÊÎ Ì ÉÖ- ²Ò³ μ ³ Ò μ± Ì Ô, Éμ μ É É μ ÖÐ Ò μ Õ ³μ ² É ³ Î ±μ μ ± É Ì³ μ Ï É± ²Ö ÒÎ ² Ö É ³ ÉÊ Ô² ±É μ μ Ï ÉμÎ μ μ É ³ μ ³μ Ò³ Ë μ Ò³ Ìμ ³ ( ² ² É μ μ É ² ² ). 1. ˆ ˆ Œ ˆ ˆ ˆˆ ˆ ˆ Œˆ Šˆ ƒˆ 1.1. ˆ ² μ ³ μ É μ Ì μ É Î ÉÒÌ ³ É ²²μ μ ²ÊÎ Ì ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò μ± ³ μ Í μ Ò³ μ- É Ö³ Ô. ˆ É μ, ÎÉμ ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö ³ É ²μ μ ²ÊÎ Ì μ ³ ± Ì Ô (Ô Ö μ E μ ±Ô ³ ÓÏ ) μ μ ³ Ì ³ ± ± μ μ Ê Ê μ μ Ò² Ö ³ ÕÉ Î -

8 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1599 Ö S sput 1 É./ μ. ²ÊÎ μ ²ÊÎ Ö É ÒÌ É ² μ ±μ²± ³ ² Ö (E μ ± /M μ ± 1 ŒÔ /.. ³.) Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ (E μ /M μ > 1 ŒÔ /.. ³.) ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö Î É ²Ó μ Ê ² Î ÕÉ Ö. ²Ö Ìμ μïμ μéμ ÒÌ ³ É ²²μ ³ ²μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ μ²óï ³ ³ ³ - μ³ μ, ± ± Ò²μ μ± μ Ô± ³ É ²Ó μ [45, 46], ±μ É./ μ, ² Ö É ³ ÉÊ Ò ± Ò É Ö Î É ²Ó μ. ² Î ³ É ²² Ì Ë ±Éμ ² Î μ μ Ò ² Ö Ê Ê Ì μé Ó Ô Ò É ÒÌ ÉÖ- ²ÒÌ μ μ ÔËË Í ÉÒ Ò² Ö ³ ÖÕÉ Ö ² Ì S exp sput E inel z (z) = ( ) E (z) z inel Î É ²Ó μ Ê ² É Ö. ± ³ É ²Ó μ μ± μ, ÎÉμ ÔÉμ³ ²ÊÎ ±μ- ÔËË Í ÉÒ Ò² Ö S exp sput Ê ² Î ÕÉ Ö Î É ²Ó μ, Î É μ É, μ ³μ ÊÉ μ É ÉÓ μ Ä μ Ö ± ² Î Ò. ±, Ò² ± Ê μ ÉÒÌ ³ É ²²μ Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ ±μôëë Í É Ò² Ö Ê ² Î É Ö Ö ²ÊÎ μîé ÄÉ μ- Ö ± μ ³ ±μ ² Ö Ë ±Éμ Í μ μ μ μ Ìμ Ö. Éμ μ- Ìμ É Ò μ± Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö (F μ t >(1 2) ³ 2 ). ± - ³ É ²Ó μ ²Õ ³Ò Ò μ± ±μôëë Í É Ò² Ö ²Ö ± ²Ö μ ²ÊÎ μ μ ³ ± Éμ ³μ μ μ ÑÖ ÉÓ ³ Éμ³μ μ Ì μ É, É. ±. É ³ ÉÊ É ± μ ÒÏ É Ö ²μÉÓ μ É ³ ÉÊ Ò ± Ö T boil, É.. ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± ³μ μ μ²ó μ ÉÓ Ò- μ±μ ±μ Í É Í μ / ² ³ Ï Ì Ö μ μ ²ÊÎ Ö Ìμ ÒÌ Ë ±Éax. ± ³ μ ( μ³, ) Ô± ³ É ²Ó μ μ± μ, ÎÉμ Ê Ê μé E Ô Ez inel = Ò É ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ μ μ μ± Ò ÕÉ μ²óïμ z inel ² Ö Ò² ³ É ²²μ Ò μ±μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ ± - É ²² Î ±μ É Ê±ÉÊ. É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ μ ÑÖ ÖÕÉ Ö μ μ - ³ É ±μ, ² μ É ²Ó μ, μí μ³ Î É ²Ó μ μ Ö Éμ³μ ³ Ï μ Ì μ É, μ ÖÐ ³ ± Ò μ± ³ ±μôëë Í É ³ Ò² - Ö ²ÊÎ μ²ó μ Ö É ÒÌ É ² Ò μ±μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ Ì É μ (ÉμÎ Î ÒÌ Ë ±Éμ, ±² É μ Ë ±Éμ, μéö ÒÌ Ë ±- Éμ μ μ μ Í ). ˆ μ Ö, μ²êî Ò μ³μðóõ - É μ μ μ Ô² ±É μ μ μ ³ ± μ ±μ ( Œ), ²Ö Ni É ² Ò. 2. É ËμÉμ Ë μ± Ò ÕÉ μ Ì μ ÉÓ ± ²Ö μ ² μ ²ÊÎ Ö Ì μ- ³ 86 Kr μ Ë²Õ μ F Kr t = 2, ³ 2 [47Ä49]. μ, ÎÉμ μ- Ì μ ÉÓ ³ É ²² Î ±μ μ ± ²Ö μ² Ê É Ö μ ²ÊÎ ³, ³ Ï Ö μ μ μ μ É Ìμ ÒÌ μ Í Ì É ÕÉ Ò². Š μ³ Éμ μ,. 2, ³μ μ ÉÓ Î É ²Ó μ Ò² ³ É ² ² - Í. ŠμÔËË Í É Ò² Ö Í ³μ μ μí ÉÓ ± ± S exp sput (2,0 ± 0,5) 103 É./ μ.

9 1600 Œˆ ˆ.. ˆ.. 2. ˆ μ Œ É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É μ² ± É ²² Î ±μ μ Ni μ ( ) μ ² ( ) μ ²ÊÎ Ö ee μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ Ft = ³ 2 ²Ö μ² ± É ²² Î ±μ μ Ni Ò²μ É ²Ó μ μ μ μ μ ²Ê- Î μ ³ 86 Kr μ Ò μ±μ μ Ë²Õ ³ Éμ μ³ ÉÊ Ó±, ÎÉμ Ò μ²ê- Î ÉÓ μ² ±μ ±É ÊÕ μí ±Ê ±μôëë Í É Ò² Ö, ± ± μ± μ. 3. ²Ö ÔÉμ μ μ ÍÒ ± ²Ö Î ² μ ²ÊÎ ² Ó μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =2, ³ 2. É ³ μ²μ μ ²ÊÎ μ μ- Ì μ É μ Í Ò² ± ÒÉ Ëμ²Ó μ Éμ²Ð μ, ÒÏ ÕÐ ² Ê μ μ μ 86 Kr, μ Í μ ²ÊÎ ² μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =1, ³ 2. μ²ð Ò² μ μ ²μÖ Ni Ò² Í Éμ²Ð μ μ± É μ ʱ É μ μ ²ÊÎ ÒÌ Î É μ Í, ² Ò μé ²Õ ³μ ÉÊ Ó± ( ³.. 3). Ò μé ÔÉμ ÉÊ Ó± μ± - ² Ó μ H step (0,35 ± 0,06) ³±³, ÎÉμ μμé É É Ê É Ê μ Õ Ò² Ö S exp sput,ni (3,0 ± 0,5) 103 É./ μ.. 3. É Ê±ÉÊ μ Ì μ É Ni, É ²Ó μ μ ²ÊÎ μ μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ Ft = ³ 2 ( Ì ÖÖ Î ÉÓ μ Ö) É ³ μ ²ÊÎ - μ μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ μ Ð μ Ë²Õ Ft =( ) ³ 2 ( ÖÖ Î ÉÓ μ Ö)

10 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1601 μ μ μ ²ÊÎ μ μ² ²μ ³, μ- ÒÌ, μ ÉÓ Ë ±ÉÒ Ò- μ±μ ±μ Í É Í ; μ- Éμ ÒÌ, ʳ ÓÏ ÉÓ, ±μ²ó±μ μ ³μ μ, ² Ö μ Ñ ³ μ μ ÊÌ Ö μ Í μí ±Ê Ô± ³ É ²Ó μ μ Ê μ Ö Ò- ² Ö Î É É ³ ÉÊ Ò μ ²ÊÎ Ö, ÊÐ É μ ³ ÓÏ, Î ³ 0,3T melt ; -É ÉÓ Ì, μ É ÉμÎ μ ÉμÎ μ μ ² ÉÓ Ê μ Ó Ò² Ö. μ² Ò μ± Ê μ Ó Ò² Ö ÍÒ ³μ μ μ ÑÖ ÉÓ Ìμ μ É Ê±ÉÊ μ ± É ²², É. ±. μ ² ÉÓ ÍÒ Å μ ² ÉÓ Ò μ±μ ±μ Í É Í Ìμ ÒÌ Ë ±Éμ. ± ÊÕÐ Ö ÉÊ ²Ó Ö ³ ± μ ±μ Ö ( Œ) μ μ² ² μ² ÉμÎ μ μ ² ÉÓ ±μôëë Í É Ò² Ö μ ²ÊÎ Ò μ±μô É Î ± ³ μ ³. É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É μ Íμ Ni μ³ ÏÉ É ² Ò. 4,,..4, ³μ μ ÉÓ Ìμ ÊÕ É Ê±ÉÊ Ê μ Ì μ É Ni μ ² Ô² ±É μ μ² μ ± É Ê±ÉÊ Ê μ ² μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô ŒÔ μ Ë²Õ Ft =2, ³ 2 (. 4, ). ˆ μ Ö Ò² μ²êî Ò ³ Éμ μ³ Œ, É ³ Ò² ÒÎ ² Ò μé ³ Ê. 4. É Ê±ÉÊ μ Ì μ É ± ²Ö Ìμ μ³ μ ÉμÖ ( ) ( ²μÐ Ó ± - μ Ö Å 2,6 2,6 ³±³, Ò μé Å 54 ³) μ ² μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ Ft =2, ³ 2 ( ) ( ²μÐ Ó ± μ Ö Å 3,15 3,15 ³±³, Ò μé Å 47 ³). ˆ μ Ö μ²êî Ò ³ Éμ μ³ Œ É ³ Ò³ ɲҳ Î ÉÖ³ μ ÊÉ ³ Ê Ö ³ ÒÌ - Î μ Ò μé. Œ ± ³ ²Ó Ò ³ ³ ²Ó Ò Ò μéò ²Ó Ë Ò ÒÌ μ ÖÌ μ Ì μ É μ ²ÊÎ ÒÌ μ ²ÊÎ ÒÌ μ Íμ Î É ²Ó μ ² Î ² Ó ³ ² Î Ö H max unir 54 ³ Hmin ir 12 ³ μμé É É μ. ÒÎ ² Ì Î Ò μé μ μ μ μ É Ò- μ² Ö²μ Ó μ μé±, ± ± ³ ³Ê³, ÖÉ Œ- μ ²Ö μ - ²ÊÎ μ μ μ ²ÊÎ μ μ μ Íμ ( ²Ö Ìμ μï É É É ± ). É Î Ö μ± ² Ó Ò³ Hunir mean =46,97 ³ Hir mean =21,15 ³. - ² É ²Ó μ Î ²μ Éμ³μ Nsput,Ni mean, Ï Ì Ö ( Ò² ÒÌ) μ Ì- μ É μ Íμ ± ²Ö μ ²ÊÎ μ ³ 86 Kr, μí ²μ Ó μ³μðóõ

11 1602 Œˆ ˆ.. ˆ. μ Éμ μ Ò Ö: Nsput,Ni mean (Hmean unir Hir mean ) N Ni =2, É./ ³ 2, N Ni =9, É./ ³ 3 Å Éμ³ Ö ²μÉ μ ÉÓ Ni. ± ³ μ μ³, ±μôëë Í É Ò² Ö ( ², ÎÉμ μ² μöé μ, ±μôëë Í É Ö) ³ É ² μ Î : S exp sput = N mean sput,ni/ (F Kr t)=1, É./ μ. ÉμÉ μ²óïμ Ê μ Ó Ò² Ö μ Ì μ É Ê± É μ μ ²ÊÎ μ μ Ni ³μ μ μ ÑÖ ÉÓ ± ± ʲÓÉ É Ò μ±μ ±μ Í É Í Í μ ÒÌ - Ë ±Éμ. ³ ÉÊ Ï É± T i μ É ±, Ò Ö Ô, ³μ É ÒÉÓ μí μ³μðóõ Ëμ ³Ê²Ò [44]: T lat = 2π 6 21 m e S 2 σ 1, a Einel z, (1) m e Å ³ Ô² ±É μ ( ); S Å ±μ μ ÉÓ Ê± ( ³/ ); σ Å μ Ñ ³ μ Î Ê Ê μ μ Ö Ö Ô² ±É μ μ μ ( ³ 2 ); a Å ³ ³ ²Ó μ ÉμÖ ³ Ê Éμ³ ³ ± É ²² Ni ( ³); Ez,Kr inel 2, Ô / ³ Å Ô² ±É μ Ö Éμ ³μ Ö μ μ μ ÉÓ μ μ Kr Ni. ²Ö μí ± T lat ±μ μ ÉÓ Ê± S ² ± ± S ³/. Ò (1) σ π(r d ) 2, T e 1,6 10 r d 12 4πN Ni ze 2. Ó r d Å ± Ê ; T e Å Ô² ±É μ Ö É ³ ÉÊ Ô ; z(t ) Å Ö μ μ Ni Ï É±. ± ± ± z(t ) αt e, α 0,05 Ô 1 [44], Î r d 10 8 ³. ²Ö ± ²Ö ÒÎ ² μ Ëμ ³Ê² (1) É É ³ ÉÊ Ê μ É ± ² μ Ì μ É T i 0,61 Ô, É Š. ²Ö Ö É ³ ÉÊ ± Ö Ni T boil = 3100 K. Œμ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ T i (r =0,z 0) >T boil, É.. ³μ ÊÉ μ Ìμ ÉÓ μí Ò Ö μ ²ÊÎ ³μ μ Ì μ É Ni. ²Ö Ö Ò²μ Ò μ² μ ² μ ±μôëë Í Éμ Ò² - Ö ³μ μ± É ²² Î ±μ μ W ÕÐ Ì É ² Š μ³ Éμ μ, Ò² μ ² Ì ³ Î ± μ É ÕÐ É ² μ ² ee μ ²ÊÎ Ö [49]. É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É μ²óë ³μ μ μ ³μ μ± É ²² μ ( ) μ ² ( ) μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =2, ³ 2 É ² Ò. 5. ˆ μ Ö Ò² μ²êî Ò É μ μ³ Ô² ±É μ μ³ ³ ± μ ±μ (³ Éμ P Œ). μ, ÎÉμ μ ²ÊÎ - μ Ìμ ÖÉ É Ò μí Ò Ò² Ö, É. ±. μ μ μ Ò μ Ì μ É Ò μ μ μ É Î ÕÉ (. 5, ) Å Ò²ÖÕÉ Ö.

12 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É ³μ μ± É ²² μ²óë ³ μ ( ) μ ² ( ) μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ Ë²Õ F Krt =2, ³ 2 É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É Ì μ³μ ± ² μ É ² ( 18 10), μ ²ÊÎ - μ ( ) μ ²ÊÎ μ ( ) μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =2, ³ 2, É ² Ò. 6. μ, ÎÉμ μ ²ÊÎ Ö, Ì - ³ Î ± ³ μ μ±μ³ μ É Ö μ Ì μ ÉÓ μ ² É É μ É Ê±ÉÊ μ,. 6. ˆ μ Ö, μ²êî Ò μ³μðóõ Œ, μ Ì μ É ÕÐ É ² Ìμ μ³ μ ÉμÖ ( ) μ ² μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Krt =2, ³ 2 ( ) μ ÉμÖÐ μ²ê Ë Î ± Ì Ê μ ±μ. É μ μ μ É μ²ê Ë - Î ± Ì Ê μ ±μ - Ò ÉÊ μ μ ÊÕÉ Ö μ Ì μ É μ ²ÊÎ ÒÌ - ÕÐ Ì É ² μ Ì μ É ÕÐ É ² ±μ²ó±μ μ³ É μ μ μ É μ Ì μ É Ì μ³μ ± ² μ É ², μ ±Ï μ ²ÊÎ μ ³ 129 Xe (124 ŒÔ ) Ò μ± Ì É ³ - ÉÊ Ì [9]. ² ±É μ μ- μ μ Ò ² μ Íμ, μ ²ÊÎ ÒÌ μ ³ 86 Kr

13 1604 Œˆ ˆ.. ˆ. Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =2, ³ 2, Ò² Ò μ² μ³μ- ÐÓÕ É μ ±μ É ± LINK ± É μ μ³ê Ô² ±É μ μ³ê ³ ± μ ±μ Ê JSM-840. Ò²μ μ Ê μ, ÎÉμ μ Ni ² μ Ì μ É μ- ² μ ²ÊÎ Ö Ê³ ÓÏ É Ö μ, Ì ³ Î ± μ É μ Ì μ É μ Í ³ Ö É Ö μé Fe 69,7 Cr 17,6 Ni 12,7 ( Ìμ Ò μ É ) μ Fe 73,7 Cr 19,7 Ni 6,6 (μ ²Ê- Î Ò μ Í). μ μ ÒÌ, μ²êî ÒÌ ²Ö Ni, W Ì μ³μ ± ² μ É ² 18 10, Ò² ² Ò μ, ÎÉμ ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± ³μ μ μ²ó μ- ÉÓ ²Ö μ ÑÖ Ö ²Õ ³ÒÌ Ò μ± Ì Î ±μôëë Í Éμ Ò- ² Ö μ Íμ Ò μ±μé ³ ÉÊ Ò³ ÔËË ±É ³ ²μ± ²Ó ÒÌ - Ì, ±μéμ Ò μ É ÕÉ Ö É ± ÉÖ ²μ μ μ. ³ ÉÊ ÔÉμ³ ³μ É ÒÉÓ ÒÏ, Î ³ É ³ ÉÊ Ö, ÎÉμ μ É ± Ê ² Õ μí - μ Ò² Ö, μ μ μ É ÔÉμ ± É Ö Í ˆ ÊÎ μ μ μ É Ò² Ö ³μ Ë ÒÌ ² μ Ì μ³μ- ± ² ÒÌ É ². ˆ ² μ É Ê±ÉÊ ÒÌ ³ Ê Ì Ë ±μ- Ì ³ Î ± Ì μ É ³μ Ë ÒÌ ³ É ²² Î ± Ì ² μ, μ ²ÊÎ ÒÌ ÉÖ - ²Ò³ μ ³, É É ²Ó μ μî Ó μ Ëμ ³ É μ o Í ²μ³Ê Ö Ê Î. ± ³μ Ë Ò É Ê±ÉÊ Ò ³ ÕÉ ²Ó μ μ Ö ± μ²μ - Éμ³μ Ì ²Õ É Ö Éμ²Ó±μ ² μ Ö μ±. ÔÉμ³ Î Ö Ö μ μ ÒÌ Ô² ±É μ μ ³μ Ë ÒÌ ² Ì ³μ μ Ò ÉÓ μ μ μ Î Ö [44], ³ μ: σ amorph = σ scat = 1, ³ 2. Š ± μ± μ μé [44], É ±μ³ Î Ö Ö É ³ ÉÊ Ò μ ² É μ± Ê É ±Éμ ÉÖ ²μ μ μ ³μ ÊÉ Î É ²Ó μ μ Ìμ ÉÓ É ³ ÉÊ Ò Ë μ ÒÌ Ìμ μ Ë μ Ò Ìμ Ò É É Ö Ë Ä ² ² (T lat T melt ) ± Ö Ë Ä (T targ T evap ) ³μ ÊÉ ³ ÉÓ ³ Éμ. Š ± É μ, ± É ²² Ì μ É Ê±ÉÊ ³, ² ± ³ ± ²Ó Ò³, μ²- μ Ò ËÊ ±Í μ μ ÒÌ Ô² ±É μ μ μ Ò ÕÉ Ö É ²ÖÍ μ μ- - É Ò³ ËÊ ±Í Ö³ ²μÌ [44]. ± Ô² ±É μ Ò ² μ ÕÉ Ö Éμ³ Ì Ò ÎÊ É ÊÕÉ Éμ²Ó±μ É ²μ Ò ±μ² Ö Éμ³μ Ï É±, μôéμ³ê Î Ö Ô² ±É μ μ ± É ²² ² Ê É ÉÓ T i σ amorph, ʳ μ μ μ ³ ²Ò ³ É, Éμ μ±μ Î É ²Ó μ - M 2 Éμ³S Î Ö Ö μ μ μ μ Ô² ±É μ ± É ²² Ê É ³ ÉÓ [44]: σ cryst = σ amorph M Éμ³S 2. Ó M Éμ³ Å ³ Éμ³ ± É ²², S Å ±μ μ ÉÓ Ê±. É ±μ³ Î - Ö Ö Ìμ μï Ì ± É ²² Ì ±É Î ± μ ³μ μ μ É Ò μ± Ì É ³ ÉÊ É ± ÉÖ ²μ μ μ. T i

14 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1605 ˆ ² μ Ö ³μ Ë ÒÌ ² μ Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò Ò ÕÉ μ²óïμ É Í ² Éμ Í μ μ Ë ± ±μ μ μ μ Ð É ( ³., ³, [2,7,8,17,24,28,32,36,44]). - ʲÓÉ É É ± Ì ² μ Ò²μ μ Ê μ, ÎÉμ μ ²ÊÎ ÉÖ ²Ò³ μ ³ ³ Ò μ Íμ ² ÖÌ, ±Ê²Ö ÒÌ μ μ³ê ÊαÊ, Ê ² Î ÕÉ Ö, μ²ó Êα Šʳ ÓÏ ÕÉ Ö. ÍÒ ³μ Ë μ μ ² Ni 58 Nb 42 Ò² μ ²ÊÎ Ò μ ³ 86 Kr Ô ŒÔ μ Ë²Õ μ F Kr t =1, F Kr t =1, ³ 2 [50] ²Ö ² μ Ö μ Ì μ É ÒÌ Ö ² É Ê±ÉÊ ÒÌ ³. ³- ÉÊ μ Í μ ²ÊÎ ÒÏ ² 100 C. ÖÖ É - μ ÉÓ μ μ μ Êα, É.. μéμ± μ μ, μ É ²Ö² F Kr < ³ 2 1. ŒμÐ μ ÉÓ, Ò ²Ö ³ Ö μ ³ ± Éμ μ Í Ì, Ò² ³ ÓÏ 2 É/ ³ É Ê±ÉÊ μ Ì μ É ³μ Ë μ μ ² Ni 58Nb 42: ) μ ²ÊÎ Ö μ- Ì μ ÉÓ; ) μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Krt = 1, ³ 2 ; ) É Ê±ÉÊ μ Í, Î É Î μ ± ÒÉμ μ Ëμ²Ó μ ( ² Å μ ²Ê- Î Ö μ ² ÉÓ, Å μ ²ÊÎ Ö μ ² ÉÓ) ˆ Ìμ Ö μ Ì μ ÉÓ μ Í Ni 58 Nb 42 É ². 7,. μ Ì- μ É Ò É Ê±ÉÊ Ò Ë ±ÉÒ Å ± ² ³μ μ μ μ ². É Ê±- ÉÊ μ Ì μ É μ ²ÊÎ μ μ ³μ Ë μ μ ² Ni 58 Nb 42 É ²

15 1606 Œˆ ˆ.. ˆ.. 7,,. μ, ÎÉμ μ Ì μ ÉÓ μ Íμ ³ ² Ó Î É ²Ó μ. Î É- μ É, Ò μì Ï Ö ± ² ³μ μ μ μ ², μ± Ê Ò μé- μ É ²Ó μ ² ± ³ ÊΠɱ ³ μ Ì μ É μ± Ê ÔÉ Ì ± ²Ó, μ²êî ÒÌ Ê²ÓÉ É É ÒÌ μí μ Ò² Ö, Ö Ê ÊÌ ³. É ² ± ÊΠɱ μ± Ê ± ²Ó ³ Ð ÕÉ Ö μ²ó É ±Éμ μ³ - ÊÕÐ μ μ, μ μé μ μ²μ μ³ ², É ± ÎÉμ ± ² ² μ± Ò ÕÉ Ö ± ± Ò μ Ê Ò³ μ± Ê ÕÐÊÕ ² ±ÊÕ μ Ì μ ÉÓ. μ ÉÓ É ±μ μ ³ Ð Ö μ Ì μ É ± ²Ó ³μ μ μ μ ², ± ± ÊΠɱ Ì, Ì μ± Ê ÕÐ Ì, ²Õ É Ö. ˆ ³ μ Î Ê- Ì Ö μ Íμ, μ ²ÊÎ ÒÌ μ ³ 86 Kr Ô E μ = 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =1, ³ 2, μ É ²μ V 15 %. ˆ ³ Ö μ- V ± ², ÎÉμ Ì ³ Î ± μ É ² μ Ì μ É ³μ μ ÉÓ Ì ³ Î ±μ Ëμ ³Ê²Ò ± ± Ni 58 x Nb 42+x, x =1, 60 Ë²Õ μ μ F Kr t =1, ³ 2 x =1,48 Ë²Õ μ μ F Kr t =1, ³ 2. Œμ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ Ô± ³ É ²Ó μ ²Õ ³Ò ³ Ö Ì ³ - Î ±μ μ μ É μé μ É ²Ó μ ± Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö ³μ ÊÉ ÒÉÓ Ò Ò μí ³ ³ÊÐ É μ μ Ö Éμ³μ Ni, Nb, É ± ± ± Nb Å μ² ÉÊ μ ² ± ³ É ²².. 8. É Ê±ÉÊ ³μ Ë μ μ ² Ni 58Nb 42, μ ²ÊÎ μ μ μ ³ 86 Kr Ô 245 ŒÔ μ Ë²Õ F Krt =1, ³ 2 ( Å ,9 ³) μ ²ÊÎ μ μ ( Å ,5 ³). É Ê±ÉÊ Ò μ²êî Ò ³ Éμ μ³ Œ. 8,, É ² Ò É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É ² Ni 58 Nb 42, μ- ²ÊÎ Ò μ³μðóõ ± ÊÕÐ μ ÉÊ ²Ó μ μ ³ ± μ ±μ. μ, ÎÉμ Ê - ² Î μ Ñ ³ ³μ É ÒÉÓ Ö μ μ ÉÊ Î ÉÒ³ μ Ñ ³ Ò³ μ Éμ³, μ Ì μ É Ò³ μ Éμ³. μ μ μ 86 Kr ² Ni 58 Nb 42 R p =13,4 ³±³ ( ²μÉ μ ÉÓ ² ρ = 8,54 / ³ 3, μ μ μ Ö Ô Ö Ë ±Éμμ μ Ö

16 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1607 Ò² Ò μ E d = 30 Ô ). Ê Ê μé Ô E inel z,kr (z = 0) = 24 ±Ô / ³, μ μ, μ ± ÕÐ Ì μí Ê Ê Ì μê -, D el =0,037 D el =0,037 μμé É É μ ²Ö Ë²Õ μ μ μ F Kr t =1, ³ 2 F Kr t =10 14 ³ 2 ; Î Ê Ê Ì ³ Ð Éμ³μ ³ Ï σ el =3, ³ 2 / μ. ÊÉ É Í μ ÒÌ Ë ±Éμ ³ É ²² Ì ÊÐ É μ Ê ² Î - É ² Ö Ê Ê Ì μé Ó Ô Ò É ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ μ μ Ê μ Ó Ò² Ö. ² μ É ²Ó μ, Ê μ Ó Ò² Ö ²Ö ³ É ²², ³ ÕÐ μ ³ - ²μ Î ²μ Ë ±Éμ ± É ²² Î ±μ É Ê±ÉÊ, ³μ É Ìμ ÉÓ Ö - μ S sput < 1 10 É./ μ [3Ä6]. ± ³ ÉÒ μ± ², ÎÉμ Ê μ Ó Ò- ² Ö ²Ö ± Ê μ ÉÒÌ ³ É ²²μ Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò μ± Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö (F Kr t =2, ³ 2 ) Ê ² Î - É Ö Î É ²Ó μ Î É ±μ ² Ö Í μ ÒÌ Ë ±Éμ ± É ²² - Î ±μ É Ê±ÉÊ ³ Ï. ± ³ É ²Ó μ ²Õ ³Ò Ò μ± Ê μ Ó Ò² Ö ²Ö ± ²Ö ³μ μ μ ÑÖ ÉÓ ³ Éμ³μ μ Ì μ É μ Í Ni μ ² É μ± Ê É ± μ, ±μéμ Ö É Ö μ É ³ ÉÊ, ÒÏ ÕÐ Ì É ³ ÉÊ Ê ² ² Ö (T melt ), μ ³μ μ, ± Ö (T boil ). μ ÉÓ ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± μé É ± ², μ ²ÊÎ ³μ³ μ ³ ± Éμ Ò μ±μ Ô, Î É ÊÐ É μ μ ±μ ² Ö ±μ Í É - Í Í μ ÒÌ Ë ±Éμ, μ ÖÐ Ì ± ʳ ÓÏ Õ ² Ò μ μ μ μ μ μ ÖÎ Ì Ô² ±É μ μ ²μ± ² Í Ò ² μ μ ³ Ô ³ ²μ³ μ Ñ ³. ³ ³Ò³ Ô± ³ É ²Ó μ μ± μ, ÎÉμ Ê Ê μ- É Ô Ez,Kr inel Ò É μ μ ÉÖ ²μ μ μ ³ ÕÉ ÊÐ É μ ² Ö Ò² ³ É ²² Éμ Ë ±É μ ± É ²² Î ±μ É Ê±ÉÊ μ ˆ ÊÎ μ μ μ É ² Ö Ö μ ²ÊÎ Ö ÉÖ ²Ò³ μ ³ - ² Î Ò³ μ Í μ Ò³ μé Ö³ Ô ³ É Ê±ÉÊ Ò μ- Ì μ É Ò μ±μμ É μ μ μ μ² É Î ±μ μ Ë É ± ± É Ê±- ÉÊ Ò ± μ μ³ Ò³ μ É ³. ± Î É ³μ ²Ó μ μ ± É ²² Ìμ μïμ É μ É Ê±ÉÊ μ Ò² ÖÉ Ò μ±μμ É μ Ò μ² É Î - ± Ë É ( ƒ) [88]. Ì ³ É Î ± ± É ²² Î ± Ö É Ê±ÉÊ ƒ É ². 9. ± ³ É ²Ó Ò Ê²ÓÉ ÉÒ Ò² μ²êî Ò μ Ì μ É ƒ μ ² μ μ ²ÊÎ Ö Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ 209 Bi 86 Kr [51, 52]. Œ- μ Ö Ìμ μ μ Ì μ É ƒ μ ( ) μ ² μ ²ÊÎ Ö ( ) μ ³ 86 Kr μ Ë²Õ F Kr t =5, ³ 2 - É ² Ò. 10. ÉÓ μ Ì μ É μ Í Ò² ± ÒÉ Ëμ²Ó μ Ni Éμ²Ð μ μ²óï ² Ò μ μ, ² μ É ²Ó μ, μ ²ÊÎ - ² Ó, Éμ ³Ö ± ± Ê Ö μ ² Ó μ É Õ μ μ. ƒ ÍÒ ³ Ê μ É μ Ò³ ± É ²² ³ ² μ ² ³ Éμ μ³ Œ. μ ²Ê- Î μ Î É μ Í ƒ (. 10, ) ³μ μ ²Õ ÉÓ ÍÊ ³ Ê - μ É μ Ò³ Ê³Ö ± É ²² É ³, μ ²ÊÎ μ Î É Å ²Ó μ Ò² ÊÕ ÍÊ (. 10, ). ² μ É ²Ó μ, Ò² Í Ò- Ï É Ò² ³μ μ ± É ²² É. μ ²ÊÎ μ Î É μ Íμ ƒ

17 1608 Œˆ ˆ.. ˆ.. 9. Ì ³Ò ²μ μ É Ê±ÉÊ Ò (± μ μ³ μ É Ê±ÉÊ Ò) ƒ: ) μ±ê; ) ÌÊ. 10. Œ- μ Ö Ìμ μ (a) μ ²ÊÎ μ μ ³ 86 Kr (305 ŒÔ ) μ Ë²Õ F Krt =5, ³ 2 ( ) μ Ì μ É ƒ. ²μÐ ± μ Ö μ μ Ì μ É Å ³ (a) ³ ( ), ²Ê Í Ì Å 5(a) 47A ( ) ³μ μ ²Õ ÉÓ ÍÊ ³ Ê Ê³Ö μ É μ Ò³ ± É ²² Î - ± ³ ³, μ μ ÊÕ μéμ ² ÔÉμ μ ± É ²². μ ²ÊÎ - μ Î É Å μî Ó ²Ó μ Ò² ÊÕ ²Ê μ±êõ ÍÊ É ± Ì É Ê±ÉÊ. ƒ²ê ÍÒ. 10,, μ μí ± ³, 5 A.. 10, Í μ Éμ É ± Ò ÕÐ Ì Ö ± É μ, É.. ÊÉÒÌ ±μ Ê μ ²Ê - μ h cone 40 A ³ ³ É μ³ D cone 20 ³. ² Í ³ ÕÉ Ö ±μ²ó±μ ± É μ, ³ ±μéμ ÒÌ ³ ÓÏ, Î ³ ³ ÏÉ ± μ- Ö Œ ( Ï ³ ²ÊÎ Ì ±É Ò ³ ÏÉ ± μ Ö Ò² 1 ³).

18 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1609 Œμ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ μ³ ²ÊÎ ²Õ É Ö Ò² ÍÒ ³ Ê μ É μ Ò³ ± É ²² É ³ ƒ, ±μéμ μ μ³ - ÊeÉ μ Õ Ò² ³ μ Ì μ É ³μ μ ± É ²² É. ² - μ É ²Ó μ, ²Ö Í ± É ²² Éμ ±μôëë Í É Ò² Ö Í É ± ² ±. ²Ö μí ± ±μôëë Í É Ò² Ö ƒ, μ ²ÊÎ μ μ μ ³ 86 Kr, ÊÎ ÉÒ ²μ Ó Ò² Éμ³μ Ê ² μ μí Ì Ò² Ö ( Ö) μ Ì μ É, Ò μ μ Ò μ±μ É ³ ÉÊ μ μ Ñ ³ μ- ± Ê É ±Éμ μ. ŠμÔËË Í É Ò² Ö ³μ μ μí ÉÓ, μ²ó ÊÖ μ Éμ μ ÊÐ. μ Ê É ³, ÎÉμ Éμ³Ò Ê ² μ ÖÕÉ Ö ±μ Î - ±μ μ ± É μ ³ ³ ³ : ³ É μ³ D cone =19 ³ ²Ê - μ h cone =47A ( ³.. 10, ). μ Î ²μ Éμ³μ Ê ² μ, Ò² É Ï Ì É ±μ μ ±μ Ê, ³μ μ μí ÉÓ μ³μðóõ ² ÊÕÐ μ Ò Ö: N cone = πd coneh cone N ƒ 4, É./ μ, 12 N ƒ =1, É./ ³ 3 Å Éμ³ Ö ²μÉ μ ÉÓ ƒ. ³ ±μ Ê μ Î É, ÎÉμ ²μÐ Ó ³ É μ³ D cone = 19 ³ ³μ É μ ÉμÖÉÓ ± ÒÉÒÌ μé ²Ó ÒÌ ( ³ ÒÌ) É ±μ. ˆ. 10, ³μ μ ÉÓ, ÎÉμ Ï ÍÒ ±É Î ± É ± Ö, ± ±. 10,, μ ²Ê Í μ É ²Ö É h =5A (. 10, ), ²Ê Ò ±μ Ê μ h =47A (. 10, ), É.. μ Î É ²Ó μ μ² ²Ê μ±. ˆ ÔÉμ μ Ë ±É ÒÉ ± É, ÎÉμ μ Ì μ É ÍÒ ³ É Ö ± ÒÉ ±μ²ó± Ì μé- ²Ó ÒÌ É ±μ μ μ 86 Kr. ² μ É ²Ó μ, ³ É μé ²Ó μ μ É ± ³μ É ÒÉÓ ³ ÓÏ 19 ³. ŠμÔËË Í É Ò² Ö- Ö É ± ²Ö μé ²Ó- μ μ μ 86 Kr μ² ÒÉÓ ³ ÓÏ, ÊÎ ÉÒ Ö Ë ±Éμ ± ÒÉ Ö. ɳ - É ³, ÎÉμ Ë²Õ μ μ 86 Kr, ±μéμ Ò³ Ò² μ ²ÊÎ Ò μ ÍÒ ƒ, F Kr t =5, ³ 2 ÉμÖ ³ Ê É ± ³ μ μ ³μ É ÒÉÓ μí μ ± ± R 1/(5, ) 1/2 ³ =4,5 ³. ± ³ μ μ³, ÔÉμ³ ²ÊÎ ± ÒÉ É ±μ μî Ó μ ³μ μ. Œ- μ ƒ, μ ²ÊÎ μ μ μ ³ 209 Bi Ô 705 ŒÔ Ë²Õ F Bi t =1, ³ 2, É ² μ. 11. Œμ μ ÉÓ μé ²Ó Ò μ² μ Ò ± É Ò, μ ÊÕÐ Ö μ Ì μ É ± É ²- ² É ƒ μ ² μ μ ²ÊÎ Ö μ ³ 209 Bi. ² Œ- μ μ± ², ÎÉμ ÖÖ ²μÉ μ ÉÓ ± É μ μ Ì μ É μ É ²Ö É Éμ²Ó±μ 2Ä3 % μé μ Ð μ Ë²Õ μ μ (F Kr t =1, ³ 2 ). ² ÉÓ Í ² Î ±μ ³³ É μ Ê ÒÌ Ô² ±É μ μ Ê É μ μ Ò ÉÓ Ö μ± Ê É ±Éμ Ò μ±μô É Î ±μ μ μ É ÒÌ ³ - Ï ÖÌ. Ê ÔÉμ μ ² É ³μ μ μí ÉÓ ± ± r 0 1,0 ³. ÖÖ Ô Ö μ Ê ÒÌ Ô² ±É μ μ Éμ³ ³ Ï ³ É [28] ( Q e0 = E ) 1 z πr0 2N =(1,5α + β)te0, 2 Éμ³ inel

19 1610 Œˆ ˆ.. ˆ. α β Å ³ É Ò; ³, ²Ö ³ Ï ² ³μ μ ÖÉÓ, ÎÉμ α =0,05 Ô 1, β =0,1 Ô 1 [28, 44]. μ Î ²Ó Ö É ³ ÉÊ Ô² ±É μ μ μ ³μ É μé Ê μ Ö μ Í μ ÒÌ μé Ó Ô ³μ É ÒÉÓ ÒÎ ² μ μ Ò Ö T e0 = Q e0 /(1,5α + β). ²Ö μ μ 238 U Ô E Ü μ /M Ü μ =7±Ô / ³ ³ Ï Fe T e0 40 Ô Í ² Ê μ³ r 0 1 ³! ² μ É ²Ó μ, ³ ³μ μ ÉÓ ²Ö Ò μ±μ μ ÊÕÐ Ì ÉÖ ²ÒÌ μ μ, ÎÉμ T e Ô [28, 44] Œ- μ É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É ƒ, μ ²ÊÎ μ μ μ ³ 209 Bi Ô 705 ŒÔ μ Ë²Õ F Bit =1, ³ 2. ) μë ²Ó ± μ Ö μ²ó ², μ± μ.. ²μÐ Ó ± μ Ö Å ³ μ ² ÊÕÐ μí ² ± Í Ô μ Ê ÒÌ Ô² ±É μ μ Ê- É μ Ìμ ÉÓ ² μ Ö Ô² ±É μ -Ô² ±É μ μ³ê Ö Õ ( ² ± Í Ö Î É Ô² ±É μ μ É ²μ μ μ μ É ) ³μ É Ö³ Ô² ±É μ μ Éμ- ³ ³ Ï É±. μ ² μí μ É ± Õ Éμ³μ Ï É±

20 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1611 μ Ñ ³ μ± Ê É ±Éμ μ. O̲ μ ² É μ Ê ÒÌ Ô² ±- É μ μ ± É ²²e ƒ Ê É ²Ó μ É Ê μ, É. ±. ²μÉ μ ÉÓ μ μ ÒÌ Ô² ±É μ μ ²Ö ³μ μ± É ²² Ë É É μ Ö ± ² Î Ò ³ ÓÏ, Î ³ ²Ö ³ É ²²μ, ³ É Î n free e Ô² ±É μ / ³ 3. μ μ- μ É ÔÉμ ± É Ö ƒ, É ± ± ± ÔÉμ³ ³ É ² É ²μ μ μ μ ÉÓ Ô² ±É μ μ μ μ ÉÓ μ ²Ê É ± É μ Ö ± ³ ÓÏ, Î ³ μ²ó μ Ì μ É. Ÿ μ, ÎÉμ Ê μ Ó Ê Ê Ì μé Ó Ô μ μ 86 Kr ƒ μ- É ÉμÎ ²Ö μ Ö μ ÖÎ μ É ± ÉÖ ²μ μ μ ³ ÓÏ, Î ³ μ μ- μ Ò Ê Ê μé Ô ²Ö μ μ Ö É ±μ μ É ±, É.. Ez,Kr inel < Ethres inel Å μ μ μ ÒÌ Ê Ê Ì μé Ó Ô ²Ö μ μ Ö É ± μ. Î ÉÒ c μ²ó μ ³ ±μ³ ÓÕÉ μ μ ³³Ò TRIM-98 [61] μ± Ò- ÕÉ, ÎÉμ Ê Ê μé Ô μ μ 86 Kr Ô 305 ŒÔ μ- Ì μ É ± É ²² ƒ μ É ²ÖÕÉ Ez inel (z 0) = 12 ±Ô / ³. É Ì - Ê Ê Ì μé Ó Ô μ É ÉμÎ μ, ÎÉμ Ò Ò ÉÓ ± ± -² μ ³ Ö É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É μé ²Ó μ μ ± É ²² É, μ Ò² Í ³ Ê ± É ²² É ³ μ Ìμ É (. 10, ) ² μ Ö Ò μ±μ³ê Ê μ Õ É Ê±ÉÊ - ÒÌ Ë ±Éμ ÔÉμ μ ² É, ± ± ²ÊÎ ³ÊÐ É μ μ Ò² Ö Í ³ É ²² Ì. μ Ó Ê Ê Ì μé Ó Ô μ μ 209 Bi Ô 705 ŒÔ μ² Î ³ ÒÏ É Ê μ Ó Ê Ê Ì μé Ó μ μ 86 Kr, ³ μ: μ μ É ²Ö É Ez,Bi inel =27,6 ±Ô / ³ ±É Î ± μ- É ÉμÎ ²Ö μ μ Ö É ±μ (. 11), É.. Ez,Bi inel Einel thres. ³ ³ Ò² μ Ì μ É ± É ²² É ƒ μ Ìμ É μ ³ ± É - μ ³ É, ±μ μ, É ³μ˲ʱÉÊ Í μ Ò Ì ±É, É ± ± ± ²μÉ μ ÉÓ ± É μ μ Ì μ É ³ μ μ ³ ÓÏ, Î ³ Ë²Õ μ μ ˆ ² μ ² Ö Ö ÒÌ Ï ³ Ô² ±É μ Ò³ μ ²ÊÎ - ³ Ë ±Éμ ³ Ö É Ê±ÉÊ Ò μ²ê μ μ ±μ ÒÌ ³μ μ± É ²- ²μ (Si, InP, Ge GaAs) μ ² ÊÕÐ ³ μ ²ÊÎ Ì ÉÖ ²Ò³ μ- ³ Ò μ± Ì Ô. ˆ ² μ ² Ö Ö μ ²ÊÎ Ö Ò É Ò³ ÉÖ - ²Ò³ μ ³ μ É ³μ μ± É ²²μ μ²ê μ μ ±μ, É ± Ì ± ± Si, Ge, GaAs, InP, ²³ ±μéμ Ò Ê, μî Ó μ ²Ö Ô² ±É μ μ μ³òï² μ É, Éμ³ Î ² ²Ö μé± μ ÒÌ μ Ìμ μ μ ³ - μ μé Ì μ²μ, É ± ²Ö ²Ó Ï μ É Ö Ô± ³ É ²Ó μ ËÊ ³ É ²Ó μ É μ É Î ±μ Í μ μ Ë ± ±μ μ μ μ μ ÉμÖ Ö [22, 26, 32Ä36, 41Ä43, 53Ä55]. Ò²μ μ μ Ô± ³ É ²Ó μ ² μ ³ μ Ì μ- É ³μ μ± É ²² Î ±μ μ Si μ μ ²ÊÎ μ ³ 86 Kr Ô 253 ŒÔ, É ²Ó Ò Ê²ÓÉ ÉÒ ±μéμ μ μ μ Ê ² ±μ Ò μé [53]. ²Õ Ò μ ²ÊÎ Ö μ É ² F Kr t =1, ³ 2 F Kr t =2, ³ 2. ˆ ³ Ö μ Ì μ É ³μ μ± É ²² Î ±μ μ ± ³ Ö, μ ²ÊÎ μ μ Ò- É Ò³ μ ³ 86 Kr, ÊÎ ² Ó ³ Éμ μ³ Éμ³ μ- ²μ μ ³ ± μ ±μ

21 1612 Œˆ ˆ.. ˆ. ( Œ).. 12, É ² μ É Ì³ μ μ Ìμ μ μ Ì- μ É ± ³ Ö.. 12, μ³ ³μ Ê̳ μ μ μ Ö μ Ì μ É Ìμ μ μ μ Í ± ³ Ö ( Ì μ ) É ² μμé É É Ê- ÕÐ μë ²Ó ± μ Ö μ²ó ², μé³ Î μ Ì ³ μ -. μ, ÎÉμ μ μ μ μ É Ìμ μ μ Ì μ É μ É ÉμÎ μ ³ ²Ò (³ ±0,1 ³). Éμ ʱ Ò É Ìμ μï ± Î É μ Ìμ μ μ ³μ μ± - É ²² Î ±μ μ Si. ̳ μ μ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ± ³ Ö ( μ Ò 86 Kr Ô 253 ŒÔ, ÔÉμ³ Ë²Õ μ É ²Ö² F Kr t =2, ³ 2 ) - É ² μ. 13,. μë ²Ó μ²ó ² ± μ Ö μ ²ÊÎ μ μ- Ì μ É Si ( μ²ó ² Ê̳ μ³ μ. 13,, ÌÊ) É ². 13, Ê. Ò μé ³ Ê É²Ò³ É ³ Ò³ ÊΠɱ ³ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É μ É ²Ö É ³ μ ±2,0 ³, É.. μ ²ÊÎ Ö μ Ì μ ÉÓ É μ É Ö μ² Ï μìμ Éμ μ Õ - Ìμ μ ² ±μ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ ÉÓÕ ( ³.. 12, ) ̳ μ Œ- μ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ³μ μ± É ²² - Î ±μ μ Si ( ) ² Ö ± μ Ö μ μ Ì μ É ( ) Î Ó É μ ÉÓ μ Ì μ É Ò μ μ μ É, ÊÉ É ÊÕÐ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É Ï Ì Ô± ³ É Ì, ʲÓÉ ÉÒ, μ Ò μé [33], Ò² ² μ Œ-Éμ μ Ë Ö Ò² ÒÌ μ Ì- μ É ³μ μ± É ²² Si μ É Í [100] μ ² μ μ ²ÊÎ Ö μ ³

22 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ ̳ μ Œ- μ μ Ì μ É Si, μ ²ÊÎ μ μ μ ³ 86 Kr Ô 253 ŒÔ, Ë²Õ F Krt =2, ³ 2 ( ) μë ²Ó c± μ Ö μ²ó ², μ μ μ³ Ì ³ μ ( ) 40 Ar Ô 100 Ô μ Ë²Õ F Ar t =5, ³ 2 ( ²ÊÎ ) Ô 300 Ô μ Ë²Õ F Ar t =4, ³ 2 ( ²ÊÎ ). ± É Î Ö Ï μìμ Éμ ÉÓ μ Ì μ É (rms), ³ Ö μ Œ- μ Ö³, μ± Ò É Ö μ 0,16 ³ ²ÊÎ 0,31 ³ ²ÊÎ ( ³. μéê [33]). μ Î Ò ³ Ò μ ÒÌ μ ²ÊÎ ³ É Ê±ÉÊ ²ÊÎ ÖÌ μ É ²ÖÕÉ ³ 90Ä100 ³ μμé- É É μ [33]. Ï Ì ² μ ÖÌ ³ Ö Ï μìμ Éμ ÉÓ Ò² μé μ É ²Ó μ μ²óïμ, 0,049 ³ ²Ö μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ( ³.. 12,, ) 0,598 ³ ²Ö μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ( ³.. 13,, ). μ- Î Ò ³ Ò μ²ê Ë Î ± Ì Ò ÉÊ μ, ²Õ ³ÒÌ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É, μ É ²ÖÕÉ ³ Ò μé μ Î 1Ä2 ³. ˆ ÒÌ ² μ ³μ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ ³ Ö μ- Ì μ É Si μ ² μ μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr Ô 253 ŒÔ ˲Õ- F Kr t =2, ³ 2 ³Ò μ μ μ ÉÖ³ ³ É Ê±ÉÊ Ò ²ÊÎ μ ²ÊÎ Ö μ ³ Ar + [33]. ² μ É ²Ó μ, μ ²ÊÎ ³μ μ± - É ²²μ Si μ ³ 86 Kr ±μôëë Í É Ò² Ö μ² ÒÉÓ μ²óï, Î ³ μ ²ÊÎ ± ³ Ö μ ³ 40 Ar ÒÌ Ô, ʲÓÉ ÉÒ ±μéμ ÒÌ É ² Ò μ Ò μé [33]. ÉμÉ Ò μ μ² É, ÎÉμ ²Õ- ³Ò μ μ μ É μ Ì μ É μ ± ÕÉ ² μ Ö μ² Î É ²Ó μ³ê μí Ê Ò² Ö μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ 86 Kr, Î ³ ²ÊÎ μ ²ÊÎ Ö ± ³ Ö μ ³ μ ³ ²μ Ô, μ Î É ²Ó μ μ²óï Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö.

23 1614 Œˆ ˆ.. ˆ. ŠμÔËË Í É Ò² Ö ± ³ Ö μ ³ Ar + Ô 300 Ô Ò² ÒÎ ² μ μ ³μ ² Ê Ê Ì μê μ³μðóõ μ ³³Ò TRIM-98 [61]. ÒÎ ² μ Î μ± ²μ Ó Ò³ Ssput,Ar el = 0,226 É./ μ. μ Ì μ É ÊÕ Ô Õ Ö Éμ³μ ± ³ Ö (Ô Õ Ê - ² ³ Í ) Î É ² μ E bond =4,7 Ô. ŠμÔËË Í É Ò² Ö μ É μ μ 86 Kr Ssput,Kr inel Ò² μí c μ²ó μ ³ Î Ö Éμ²- Ð Ò Ò² μ μ ²μÖ μ É ³ μ μ 40 Ar Ô 300 Ô, Z Ar =(F Ar t)ssput,ar el É./ ³2 ( ²ÊÎ μéò [33]. 13,, [53]). ÊÉ Ò²μ ÖÉμ μ ³, ÎÉμ É Ê±ÉÊ Ò μ ²ÊÎ ÒÌ μ Ì μ ÉÖÌ ± ³ Ö ( ²ÊÎ μéò [33]. 13,, [53]) Ï μî Ó μìμ ² ± μ μ ³ Ì ±É É ± ³, É ± ³ ± ± μ Ì μ É Ö ²μÉ μ ÉÓ, ³ É Ò μé μ²ê Ë Î ±μ μ Ê μ ±. Ò²μ μ²ó μ μ É μ Ssput,Kr inel > (F Art) Ar Ssput,Ar el = 40 É./ μ. F Kr t Î Ö Ë ±Éμμ μ Ö μ Ê Ê μ³ê ± ²Ê σ Kr/Ar Ê Ê μ- É Ô Ez,Kr/Ar inel μ Ì μ É Ò = ( E z ) Kr/Ar (z) ²Ö μ μ 86 Kr Ar + inel/el σ Kr (z 0) = 2, ( ³ 2 )/ μ, σ Ar (z 0) = 5, ( ³ 2 )/ μ, ² Ex,Kr inel (z 0) = 9,39 ±Ô / ³, Ex,Ar inel (z 0) = 0,07 ±Ô / ³. μ, ÎÉμ Î Ê Ê μ μ μ Ö ²Ö μ μ Kr 20 ³ ÓÏ, Î ³ ²Ö μ μ 40 Ar. ± μ Ìμ ³μ ³ É ÉÓ, ÎÉμ ±É Î - ± μ ±μ Ò ³ Ö μ Ì μ É (μ ±μ Ò μ μ μ É ) μ - Íμ Si Ò² μ²êî Ò μ ² x μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr (Ô Ö 253 ŒÔ, Ë²Õ F Kr t =2, ³ 2 ) μ ³ μ (Ô Ö 300 Ô, Ë²Õ (F Ar t) Ar =4, ³ 2 ). ÔÉμ³ Ë²Õ μ μ 40 Ar Ò² 180 μ²óï Ë²Õ μ μ 86 Kr. ² μ É ²Ó μ, μ Ò μ μé Ê Ê Ì μé Ó Ô μ μ 40 Ar (DAr el (z 0)) μ μ 86 Kr (DKr el (z 0)) ² μ Ì μ É μ Í Ì Si μ É ²ÖÕÉ ² ÊÕÐ ² Î Ò: D el Ar (z 0) = σ Ar(z 0)(F Ar t) Ar =2,6 10 2, DKr el (z 0) = σ Kr(z 0)(F Kr t)=7, Éμ μ Î É, ÎÉμ μ Ð Ê Ê μé Ô μ ²ÊÎ μ ³ 40 Ar 3, μ²óï, Î ³ μ ²ÊÎ μ ³ 86 Kr. ³ ³

24 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1615 μ μ μ É μ Ì μ É μ Íμ Si ±É Î ± μ ±μ Ò μ Ï ³Ê Ê, Ò μé ³ É Ê μ²ê Ë Î ± Ì Ê μ ±μ. ±μ μ²óïμ ² Î ³ Ê Î Ö³ μ² ÒÌ Ê Ê Ì μé Ó Ô μ Ò μ ²Ö μ Íμ, μ ²ÊÎ ÒÌ μ ³ 40 Ar 86 Kr, μ Î É, ÎÉμ μ³μðóõ Ê Ê Ì μé Ó Ô μ ³μ μ μ ÉÓ μ ÑÖ ÉÓ μ ± μ μ ±μ ÒÌ É Ê±ÉÊ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É Si. ±μ Ê Ê μé Ô ²ÊÎ μ ²ÊÎ Ö μ ³ Kr Ò² Î É ²Ó μ μ²óï, Î ³ μ μ ²ÊÎ - (z 0)/Einel z,ar (z 0) = 130. Éμ μ μ- ²Ö É ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ Ò² Si μ ²ÊÎ μ ³ 86 Kr μ² μ μ Ò ÉÓ Ö ³ Ì ³μ³ Ê Ê μ μ Ò² Ö, É.. ÔÉμ³ ²ÊÎ ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± ³μ É ÒÉÓ μ²ó μ ²Ö μ ÑÖ Ö ²Õ ³ÒÌ ÔËË ±Éμ. μé Ì [54, 55] Ò²μ μ± μ, ÎÉμ ³μ Ë ÒÌ ² ± Ì ± ³ Ö ³ Ö, μéμ ² ÒÌ ±Êʳ Ò³ Ò² ³ μ ³ μ μ Ë Ò μ ²μ ± É ³ μ ²ÊÎ ÒÌ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ (μé 16 O Ô 100 ŒÔ μ 197 Au Ô 207 ŒÔ ), ²Õ ÕÉ Ö É ±. É É ± μ ÉμÖÉ ³ ² Ó± Ì ± É ²² μ ÒÌ Î É Í μ²ó μ É ±μ [54, 55]. ÉμÉ ÔËË ±É μö ²Ö É Ö ÒÏ ±μéμ μ μ μ μ μ μ μ - μ ³ 40 Ar, Î É μ É, E inel z,kr Î Ö Ez,thres inel ( ÔÉμ³ Einel z,thres = 5 ±Ô / ³ Ge Ez,thres inel = 15 ±Ô / ³ Si [55]). μ μ μ Ò Ô É Î ± μé, ÖÐ μé ³ É ² ³ Ï, Ò² É É μ Ò ³± Ì ³μ ² É ³ Î ±μ μ ± [28,55Ä57]. μ- ² μ ÔÉμ ³μ ² μ μ É ± μ μ 86 Kr ± ³ μ ³μ μ ² ³ ²μ μöé μ, É. ±. Ez,Kr inel <Einel z,thres. ³ ³ Ò μ± Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö ³μ μ± É ²²μ Si μ ³ 86 Kr ³ É ³ Éμ ³μ Ë Í Ö μé μ- Ì μ É μ²ó μ ±É μ μ μ μ μ. Éμ Ö μ É ³, ÎÉμ ² μ μ μ μ μ μ ÖÎ Ì Ô² ±É μ μ ʳ ÓÏ É Ö Ê Ê μé Ô μ μ ± Éμ É μ ÖÉ Ö ²μ± ² μ Ò³ μ Ñ ³, μ± Ê ÕÐ ³ É ±Éμ Õ μ. ÉμÉ μí μ É ± ²μ± ²Ó μ³ê μ ÒÏ Õ É ³ - ÉÊ Ò μ ² É μ± Ê É ±Éμ μ, ² μ É ²Ó μ, ³μ É É ± μ²óï ÔËË ±É μ É Ò² Ö. μ Í Ë Î ±μ É Ê±ÉÊ Ò μ Ì μ É μ²ê Ë Î - ± Ì Ê μ ±μ, μ± Ò ÕÐ Ì Õ μ ²ÊÎ ÊÕ μ Ì μ ÉÓ ± ³ Ö, ³μ μ μ ÒÉ ÉÓ Ö μ ÑÖ ÉÓ μ μ ± ±μ -Éμ Ê μ ³μ ². Éμ Ö ² ³μ É ÒÉÓ Ö μ ±μ ² ³ ³μ² ±Ê² ³ ² É μ μ μ μ μ Ì- μ ÉÓÕ μ ²ÊÎ μ μ ³μ μ± É ²² Si ² μ Í Ë Î ± ³ ³ Ì ³μ³ Ò² Ö- Ö. ÔÉμ³ Î ² ³μ É μ Ìμ ÉÓ Ò μ - Ï Ì Ö Éμ³μ ± ³ Ö ² ³ N(Θ) ÔÉ Ì Éμ³μ ³μ- É μé Ê ² Θ, μé Î ÉÒ ³μ μ μé μ ³ ² ± μ Ì μ É, ±μéμ μ ³ É [3]: N(Θ) N(0) cos (Θ),

25 1616 Œˆ ˆ.. ˆ. N(Θ) Å Î ²μ Éμ³μ, Ò² É Ï Ì μ Ì μ É μ Ê ²μ³ Θ, N(0) Å ³ ² ÉÊ Ì Ê ²μ μ μ ² Ö. ÔÉμ³ μ ³μ μ μ É μ μ - Éμ³μ μ Ì μ ÉÓ, μ± Ê ÕÐÊÕ ÉÊÕ μ ² ÉÓ, Å μ Ö- Î É ± ÉÖ ²μ μ μ μ ² ÊÕÐ ³ μ Éμ³ μ²ê Ë Î ± Ì É Ê±ÉÊ ±μ ±Ê ÊÕÐ ³ μí μ³ Ö- Ò² Ö ÔÉ Ì É Ê±ÉÊ. ± μí Ò μ Ìμ ÖÉ Ê Ê μ³ Ò². ÔÉμ³ É ± μ ÊÕÉ Ö ² Î Ò É Ê±ÉÊ Ò. μ ² μ Ò μ Ò É Ì μ²μ μ μ μ É Ê±ÉÊ Î ² - ÉÓ Ö Ò μ±μ ÔËË ±É μ ÉÓÕ, μ ³ μ ³ ²μ Ö³ μ²êî ² Ï μ±μ μ É μ ³ μ Ì É Ì. μ±² É Ò, μ μ μ- ²μα Ê²Ö Ò μ- ³ ± μ É Ê±ÉÊ Ò, ±μéμ Ò ³μ ÊÉ ³μ Ë Í μ ÉÓ Ô² ±É μ Ò, ³ É Ò, ± Éμ Ò μ É Î ± μ É É ÒÌ É ², μ - Î ÕÉ Ê ± ²Ó Ò, μ ÉÊ Ò μ ³μ μ É ²Ö É Ö μ Éμ- Ô² ±É μ ±, μô² ±É μ ± Ê Ì ÒÌ μé ² ʱ, É Ì μ²μ, μ³òï² μ É, ±μ³ ÓÕÉ μ É Ì ±, μ²μ ³ Í Ò. ÊÉ Ê μ³ö ÊÉμ μ ÒÏ μ É Ê±ÉÊ μ Ö É ÒÌ É ² Å Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³. É ±μ³ μ ²ÊÎ É ± ³μ ÊÉ μ μ ÉÓ Ö Ëμ ³ μ³ É Î ± Ì Í ² μ -É Ê μ± ² Í μî ± ±² É μ ³μ Ë Í μ μ É Ê±ÉÊ μ, ÒÌ μ ÊÕ ³ É ÍÊ Å Ìμ Ò ³ É ². Œ Ì ³Ò μ μ Ö É ±μ Ì Ò μ± Ì Ê μ - ÖÌ μ Ê Ö Ô² ±É μ μ μ É ³Ò ± É ²² ÒÖ Ò É ²ÖÌ μ Ì μ. Œμ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± μ² Î Éμ μ²ó Ê É Ö ²Ö μ Ñ- Ö Ö μ μ Ö É ±μ ² Ì μé ÊÉ É Ö ³ É ² Ì μ ²ÊÎ Î É Í ³ Ò μ± ³ Ê μ ³ μ Í μ ÒÌ μé Ó Ô [28, 56]. μ Ï É μ Ö ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± Ê É ²μ μ Éμ- μ³ ² μ μ μ μ. ÔÉμ³ ² μ Ê ³ ³μ ²Ó É ³ Î ±μ μ ± Î É, ± ÕÐ Ö μ ² Ö Éμ μ, ± ± Ö Î ÉÓ μé Ó Ô μ É μ μ É ²μ μ μ ± Å Í ² Î ±μ μ μ Ñ- ³ μ± Ê É ±Éμ μ μ É ³ ÉÊ Ò ÒÏ É ³ ÉÊ ² ² Ö ² Ö, É.. μ μ É ± μ. ÉμÉ μí μ ²Ö É Ö ±μ É - Éμ Ô² ±É μ -Ëμ μ μ μ ³μ É Ö g, Ì ±É ÊÕÐ ÔËË ±É μ ÉÓ μ Ô μé μ Ê ÒÌ μ ÖÎ Ì Ô² ±É μ μ ± Éμ³ ³ Ï É±. μ É ±μ μ²öéμ Ì, μ²ê μ μ ± Ì, ³μ Ë ÒÌ ³ É ² Ì, ³ É ²² Ì, ³ É ²² Î ± Ì ² Ì ²Õ É Ö, ±μ Ô² ±É μ Ò μé Ô ÒÏ ÕÉ ±μéμ μ μ μ μ μ Î Ez,thres inel, ±μéμ μ μ - ²Ö É Ö É μ³ μ ²ÊÎ μ μ ³ É ² μ μ μ ÉÖ³ μ É Ê±ÉÊ Ò. ²Ö μ²ê μ μ ±μ Î Ez,thres inel ÊÐ É μ ÒÏ É μμé É É ÊÕÐ Î Ö ²Ö μ²öéμ μ ³μ É ÒÉÓ μ²óï Î ³ 30 ±Ô / ³. ±μ Ò²μ μ± μ, ÎÉμ μ μ É ± É ²Ó μ Ê μ- Ö μî μ³ ³μ μ± É ²² InP μ ³μ μ Ex,thres inel 13 ±Ô / ³ [58, 59]. Î Ó μìμ, ÎÉμ Ê μ Ö μî ³μ É ³ ÉÓ Ô² ±É μ Ò μ É ³ É ², É ± ³ μ μ³ ³ ÖÖ Î ±μ É ÉÒ Ô² ±É μ -Ëμ μ μ μ

26 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1617 ³μ É Ö g. ˆ ³ Ô² ±É μ ÒÌ μ É ± É ²² ² μ Ö ±μ - É μ² Ê ³μ³Ê Õ Ë ±Éμ μ ²ÊÎ ² ± ³ Î É Í ³ Å μ μ μ μ ʳ ÓÏ Ö Ez,thres inel. Éμ ± ± Ò É ²Ó Ö μ μé± Í ²ÓÕ μ Ò ÉÓ ÎÊ É É ²Ó μ ÉÓ Ï É± ³μ μ± É ²² ± μ Í μ - Ò³ μé Ö³ Ô Ë ±É Î ± μ ÉÓ μ μ μ μ Ô μ Ò ² ²Ö μ μ Ö É ±. ± ³ É ²Ó Ò ² μ Ö Í μ ÒÌ ÔËË ±Éμ ³μ μ± - É ²² Ì GaAs InP É ²Ó μ μ μé±μ É ² Ò μé [60]. Ö É Ö μ Íμ ³μ μ± É ²²μ GaAs n-é μ É Í [100] InP ²μÐ ÓÕ 1 1 ³ Éμ²Ð μ 300 ³±³ μ ²ÊÎ ² Ó Ô² ±É μ- ³ Ô E e1 =4ŒÔ μ Ë²Õ F e t =4, ³ 2. μ ² ÔÉμ μ μ ÍÒ, É ²Ó μ μ ²ÊÎ Ò Ô² ±É μ ³, μ ²ÊÎ ² μ ³ 209 Bi Ô E Bi = 710 ŒÔ μ Ë²Õ F Bi t =1, ³ 2. ˆ ² μ Ö μ ² É ² Ô μ ±μ μ ± (μ ² ÉÓ ³ ± ³ ²Ó Ò³ Ê Ê ³ μ- É Ö³ Ô ² μ Ò μ É μ ± μ μ ) ³ Éμ μ³ Œ μ± ², ÎÉμ μ Ìμ É μí ± ÒÉ Ö μé ²Ó ÒÌ É ±μ. Éμ Ìμ μïμ μ ÊÎ É Ê±ÉÊ Ò ²μÖ, ±μéμ μ³ μ É ² ÕÉ Ö μ Ò, μ ±μ μ ±. ² μ É ²Ó μ, ³ É É ± ² ±μ Í μé ± μ μ μ²- Ê μ ² É μ ÖÉÓ É Ê D Bi =1/(F Bi t) 1/2 > 10 ³. Éμ Ö É Ö μ Íμ ³μ μ± É ²²μ GaAs InP μ ²ÊÎ ² Ó Ô² ±É μ ³ Ô E e2 =23ŒÔ μ Ë²Õ F e2 t =(3,0 ± 0,5) ³ 2. μ ² ÔÉμ μ μ- ²μ μ Ì μ É μ Íμ ± Ò ² Ó ± ² μ Ëμ²Ó μ Éμ²Ð μ, ÒÏ ÕÐ ² Ê μ μ μ, É ³ ÔÉ μ ÍÒ μ ²ÊÎ ² Ó μ ³ 86 Kr Ô E Kr = 253 ŒÔ μ Ë²Õ F Kr t =1, ³ 2. ÔÉμ³ Ë²Õ, É É μ, ³ É ³ Éμ ± ÒÉ É ±μ μé μé ²Ó ÒÌ μ μ. ³ ÉÊ μ Ì É μ Íμ ÒÏ ² 50 C μ ³Ö Ô² ±É μ μ μ μ μ μ μ ²ÊÎ Ö. μ μ Ë Õ μ Ì μ É μ Íμ - ² μ ², μ²ó ÊÖ É μ Ò Ô² ±É μ Ò ³ ± μ ±μ S-806 (Hitachi) Éμ³ μ- ²μ μ ³ ± μ ±μ Femtoscan 001. ² μ μ ²Ê ÊÎ ²μ Ó μ³μðóõ - É ²Ó μ μ Ì ³ Î ±μ μ É ² Ö ±μ²μ ± É ²²μ ±Ê²Ö μ μ ²Ê- Î μ μ Ì μ É μ Í (ÔÉμ ±É Î ± ³ Éμ μ Î μ μ Î Ö Å cross-section method). É ³ μ ÍÒ, μéμ ² Ò É ± ³ μ μ³, ² - μ ² μ³μðóõ μ É Î ±μ μ ³ ± μ ±μ Leica INM-100. ³ É Ò, Ì ±É ÊÕÐ Í μ μ ³μ É μ μ ± - É ²² ³ GaAs InP, Ò² ÒÎ ² Ò c μ³μðóõ μ ³³Ò TRIM-98 [61]. ²Ö ÒÎ ² Ö Î Ö μ μ Ö μ Ê Ê Ì μé Ó Ô - Ô² ±É μ μ ÔÉ Ì μ²ê μ μ ± Ì Ò² Í ²Ó Ö ±μ³ ÓÕ- É Ö μ ³³. μ Ò ³ É Ò μí Í μ μ μ μ É Ö μ μ Ô² ±É μ μ ³μ μ± É ²²Ò GaAs InP É ² Ò É ² Š ± μ± ² Œ- ² μ Ö, Ô² ±É μ μ μ ²ÊÎ ³ Ö É Éμ μ Ë Õ μ Ì μ É μ Íμ InP GaAs. ²ÊÎ Ì μ ³ 86 Kr

27 1618 Œˆ ˆ.. ˆ. ² Í 1. ³ É Ò μí ³μ É Ö Ô² ±É μ μ ± É ²² ³ GaAs InP Š É ²² E e, Φ e, D e, Ee,max, AIII Ee,max, BV Ecp AIII, Ecp BV, ŒÔ ³ ±Ô ±Ô Ô Ô GaAs 23 3 ± 1 9,3 16,8 15, GaAs 4 4 5,8 0,61 0,57 59,6 58,5 InP 23 3 ± 1 9,4 10,2 37, ³ Î. E e Å Ô Ö Ô² ±É μ μ ; Φ e Å Ë²Õ Ô² ±É μ μ ; D e = σ e F et Å μ μ Ö μé Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö; Ee,max AIII EBV e,max Å ³ ± ³ ²Ó Ò Ô ³ Ð ÒÌ Éμ³μ ; Ecp AIII Ecp BV Å Ì Ô. ³ μ²ò III (In, Ga) V (P, As) Å μ μ Î Ö Ô² ³ Éμ Ì ³ Î ± Ì Ê III V É ² ÍÒ Ô² ³ Éμ Œ ². ² Í 2. ³ É Ò μí Í μ μ μ ³μ É Ö μ μ ± É ²- ² ³ GaAs InP Š É ²² 209 Bi (E Bi = 710 ŒÔ, F Bit =1, ³ 2 ) Rp, Einel z (0), σ(z =0), σ(z R p), D(z =0), D(z R p), ³±³ ±Ô / ³ ( ³ 2 )/ μ ( ³ 2 )/ μ GaAs 30,6 35,2 1, , , , Š É ²² Rp, E inel ³±³ ±Ô ³ 86 Kr (E Kr = 253 ŒÔ, F Krt =1, ³ 2 ) z, σ(z =0), σ(z R p), D(z =0), D(z Rp), SAIII Kr ³ 2 ³ 2 μ μ É. μ, SKr BV, É. μ GaAs 23,3 15,8 6, , , , ,016 0,017 InP 25,5 12,6 5, , , , ,017 0,03 ³ Î. R p Å μ μ μ ; Ez inel = ( E/ z) inel (z) Å Ê ²Ó Ò Ê Ê μé Ô ²μ ² μ Ì μ É ; σ(z =0) σ(z R p) Å Î Ö Ë ±Éμμ - μ Ö ² μ Ì μ É ± Ô ; D(z =0) D(z R p) Å μ Ò μ ; SKr AIII SKr BV Å ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö [61]. Ó AIII Å Ì ³ Î ± Ô² ³ ÉÒ III Ê Ò (Ga In), BV Å Ô² ³ ÉÒ V Ê Ò (P As) É ² ÍÒ Œ ². μ É ± μ²óïμ³ê ² Õ ²Ó Ë μ Ì μ É Ìμ ÒÌ, μ ²ÊÎ ÒÌ Ô² ±É μ ³ ± É ²²μ. Éμ ³Ö μ ²ÊÎ μ Î É μ Ì μ É InP μö ²Ö É Ö É ± Ò ³ Ö Ö Ó (. 14). μ ³μ μ, ÔÉμ μ Ìμ É - μ μ μ μ μ Ò² Ö μí μ ²ÊÎ Ö μ ³ ± Éμ. μ²ð Ò Ò² ÒÌ ²μ InP GaAs, μ ²ÊÎ ÒÌ μ ³ 86 Kr Ê ²μ ÖÌ μ ²ÊÎ Ö, É ² ÒÌ ÒÏ, Ò² ÒÎ ² Ò - μ²ó μ ³ ³μ ² Ê Ê μ μ ± ± μ μ Ò² Ö [61] Ò Ö H TRIM,Kr InP,GaAs =[SAIII Kr + SKr BV ]F Krt/N InP,GaAs Éμ³,

28 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1619 N InP,GaAs Éμ³ Å Éμ³ Ò ²μÉ μ É ³μ μ± É ²²μ InP GaAs μμé É- É μ. Ó SKr AIII SKr BV Å ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö Ô² ³ Éμ III V Ê. μ ³μ μ μ²êî ÉÓ Éμ²Ð Ò Ò² ÒÌ ²μ, ³ ³ HInP TRIM =9, ³ HGaAs TRIM =9, ³ É Ê±ÉÊ μ Ì μ É ³μ μ± É ²²μ InP: ) μ Ì μ ÉÓ ± É ²² InP, μ ²ÊÎ Ö Éμ²Ó±μ Ô² ±É μ ³ (E e =23ŒÔ, F et =3, ³ 2 ); ) μ Ì μ ÉÓ ± É ²² InP, μ ²ÊÎ Ö Ô² ±É μ ³ (E e =23ŒÔ, F et =3, ³ 2 ) μ ³ 86 Kr (E Kr = 253 ŒÔ, F Krt =1, ³ 2 ). ˆ μ Ö Ò² μ²êî Ò ³ Éμ μ³ Œ É Î Ö ² Ï±μ³ ³ ²Ò, ÎÉμ Ò μ ÑÖ ÉÓ ²Õ ³Ò ³ Ö Éμ μ Ë μ Ì μ É. Ò Ò μé ²Ó Ëμ, ³ ÒÌ Œ- μ ÖÌ, Î É ²Ó μ μ²óï, Î ³ ± Ò É ± ± Ö ³μ ²Ó Ê - Ê μ μ Ò² Ö. Œμ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ Ê Ê μ Ò² [3] ³ É ³ Éμ μ ³Ö μ ²ÊÎ Ö μ ³ ± Éμ Ô 253 ŒÔ ³μ- μ± É ²²μ InP GaAs, É ²Ó μ μ ²ÊÎ ÒÌ Ô² ±É μ ³, - Ò μ± Ì Ê Ê Ì μé Ó Ô, ÔÉμ³ Ez,Kr inel InP Ez,Kr inel (z 0) = 15,8 ±Ô / ³ ²Ö GaAs. (z 0) = 12,6 ±Ô / ³ ²Ö Ô² ±É μ μ³ μ ²ÊÎ Î Ö Ë ±Éμμ μ Ö ± É ²² Ì GaAs InP, ÒÎ ² Ò μ Í ²Ó μ μ μ ³³, μ± ² Ó Ò³ σ GaAs e,4 ŒÔ =1, ( ³ 2 )/e, σ GaAs e,23 ŒÔ =3, ( ³ 2 )/e, σ InP e,23 ŒÔ =3, ( ³ 2 )/e. ²Ö ± É ²²μ GaAs, μ ²ÊÎ ÒÌ Ô² ±É μ ³ μ ³ 209 Bi, Ô± - ³ É Ì Ò²μ Ë ± μ μ Î ²μ μéï ²ÊÏ Ö. ²μ μ É ÉμÎ μ

29 1620 Œˆ ˆ.. ˆ. μ²óïμ Ï Ò ( H 5 6 ³±³) ²Ó Ò³ ³ Ì Î ± ³ Ö - Ö³, ±μéμ Ò μ ÕÉ μ Ò ²μ ÉÒ³ ³ ± μé Ð ³, Ò² μ Ê ±μ² Ò μ ²ÊÎ μ μ μ Í GaAs ²Ê, - ÒÏ ÕÐ ² Ê μ μ (. 15) Í μ Ò μ Ö, ÒÖ ² Ò É ²Ó Ò³ Ì ³ Î ± ³ É - ² ³ μ Íμ GaAs, ±μ²μéòì ±Ê²Ö μ μ Ì μ É μ μ μ μ μ Í : ) μ Í, μ ²ÊÎ Ò Éμ²Ó±μ μ ³ 209 Bi (E Bi = 710 ŒÔ, F Bit =1, ³ 2 ); ) μ Í, μ ²ÊÎ Ò Ô² ±É μ ³ (E e =4ŒÔ, F et =4, ³ 2 ) μ ³ 209 Bi (E Bi = 710 ŒÔ, F Bit =1, ³ 2 ); ) μ μ²óï ³ Ê ² Î - ³ μ ² É ³ ± μé Ð Ò, ʱ μ É ²±μ. 15,. Ò É ± ²Ó Ò μé ±. μ± Ò ÕÉ ² Ê μ μ Rp Bi =(30,6 ± 1,0) ³±³ Ò²μ Ê É μ ² μ É ±, ÎÉμ μ μ μ ²ÊÎ ³μ μ± É ²²μ InP GaAs Ô² ±É μ ³ μ ³ 86 Kr μ É ± ÊÌ Õ μ ²ÊÎ μ Î É ± É ²², μ μ Õ ³ ± μé Ð μ Ì μ É, Ò ³ ±μ² ³ μ Ì μ É ÒÌ ²μÖÌ (. 16, 17).. 17,, É ² μ Ì- μ ÉÓ InP μé ²Ó Ò³ ± É ²² É ³, μ μ Ò³ ʲÓÉ É μ ²ÊÎ - Ö μ Í Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³. ²Ö μ ÑÖ Ö μ Ö μé ²Ó- ÒÌ ± É ²² Éμ Ò μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ³μ μ± É ²² InP ³μ μ μ²ó μ ÉÓ ³ Î Ö μ μ μ μ²ê Ë Î ± Ì Ê μ ±μ μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É Si, É.. Í Ë Î ± ³ Ì ³ Ò² Ö- Ö: μ ² ÊÕÐ ±Êʳ μ μ Ö ÒÌ Éμ- ³μ, É ± ± ± Ê ²μ μ ² Ö ÒÌ Éμ³μ μ Ò É Ö ±μ μ³ ±μ Ê, É.. (N(Θ) cos (Θ)). ÊÌ Ö ± É ²²μ, É ± Ì ± ± μ Ò ± É ²²Ò (LiF CaF 2 ) ±μ ² É Ò ± É ²²Ò (SiO 2,Y 3 Fe 5 O 12 Gd 3 Ga 5 O 12 ), ²Õ ²μ Ó - μé [62]. μ μ ÑÖ Ö É Ö μ É ³, Ò Ò³ ² Ö ³ Ò μ±μô - É Î ± Ì μ μ, ±μ μ ²ÊÎ Ò ²μ μ²öéμ Ë²Õ μ ²ÊÎ Ö μ ³ Ft 1, ³ 2 μé± ²Ò É Ö μé ² Ð μ ²μÖ μ - μ μ ± É ²². Ï Ì Ô± ³ É Ì Ò²μ μ Ê μ, ÎÉμ Ê μ Ó ³ Ì Î ± Ì Ö μ²ê μ μ ±μ ÒÌ ³μ μ± É ²² Ì InP GaAs, μ ²ÊÎ ÒÌ μ ³ 86 Kr μ² Ò μ± ³ Ë²Õ μ³, F Kr t =1, ³ 2,

30 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ Œ ± μé Ð Ò μ Ì μ É ± É ²² GaAs, μ ²ÊÎ μ μ Ô² ±É μ- ³ (E e = 23 ŒÔ, F et = 3, ³ 2 ) μ ³ 86 Kr (E Kr = 253 ŒÔ, F Krt =1, ³ 2 ).. Å μ Ö, μ²êî Ò μ³μðóõ - É μ μ μ Ô² ±É μ μ μ ³ ± μ ±μ ² Î Ò³ Ê ² Î Ö³ : μμé É É μ μ É ÉμÎ ²Ö ÊÏ Ö ³ É ². ±μ É ²Ó μ Ê μ Ö- μî ± É ²²μ Ô² ±É μ Ò³ μ ²ÊÎ ³ μ μ É Ê É μí ³ - É Ê±Í μ ³Ö μ ² ÊÕÐ μ μ ²ÊÎ Ö μ ³ Ò μ± Ì Ô ( Ò- É Ò³ μ ³ ). ²Õ ³Ò ÔËË ±ÉÒ ³μ μ μ ÑÖ ÉÓ Ê ² Î ³ μ Ñ ³ Ò μ ²ÊÎ ÒÌ Î É - μí ³μ Ë Í μ ± μ ³ ³ Ì - Î ± Ì Ö ²μ μ É μ ± Ò É μ μ μ. Î ÉÓ μ Ì μ É μ Íμ, ± ÒÉÒÌ ³ É ²² Î ±μ Ëμ²Ó μ, μ Ò 86 Kr É ÊÕÉ, μ ²ÊÎ ÒÌ Î ÉÖÌ ± É ²² μ Ò μ É ² ÕÉ Ö ²Ê Ì μ ±- É μ μ μ. μ μ μ Ï μ ²ÊÎ μ μ μ ³ μ Ñ ³ μ - Î μ μ μ μ μ ² ÉÓÕ, μ ²ÊÎ Ò Î É ÊÌ ÕÉ Éμ μ Ê μ Ì μ É μ Í. μ ± ÕÐ ³ Ì Î ± Ö Ö - μ ÖÉ ± É ± Õ Ò μ ²ÊÎ ÒÌ μ ² É ³ É ². Š ± μ É ². 1 2, μ Ò μ ² μ Ö Ô² ±É μ μ³ê μ ²ÊÎ Õ ± - É ²²μ InP GaAs Î É ²Ó μ ³ ÓÏ, Î ³ μ Ò μ, Ò - Òx μ Ò³ μ ²ÊÎ ³. ³ ³ ² Ö μ³ μ ± Ò É Ò³ μ ³ ± É ²²μ, É ²Ó μ μ ²ÊÎ ÒÌ Ô² ±É μ ³, Î É ²Ó μ ±μ²ó±μ μ ÒÎ μ. ˆ É ². 1 2 μ, ÎÉμ μ Ò μ μ ² Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö ³μ μ± É ²² Ì InP GaAs ( ³, ³μ μ± - =9, ) ³ μ μ ³ ÓÏ μ, μ ±Ï Ì μ ² μ ²ÊÎ Ö μ ³ 86 Kr (DKr InP(z =0)=6, DKr GaAs (z =0)= É ²² InP D InP e

31 1622 Œˆ ˆ.. ˆ a, ) Ð Ò Ò Ò μ Ì μ É InP, μ ²ÊÎ μ Ô² ±É μ ³ (E e = 23 ŒÔ, F et =3, ³ 2 ) μ ³ 86 Kr (E Kr = 253 ŒÔ, F Krt =1, ³ 2 )., ) μ Ì μ É InP μé ²Ó Ò³ ± É ²² É ³, Ê ² Î μμé É É μ 8, ), ² μ Ì μ É, Ô μ ±μ³ ± (³ ± ³Ê³ Ë ±Éμμ μ Ö) μ μ μ²óï, Î ³ μ μ - μ ² Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö. μ μ μ ² μ ²ÊÎ Ö μ ³ 209 Bi ² μ Ì μ É ³μ μ± É ²² GaAs ±É Î ± 2 μ²óï (De GaAs (z =0)=9, DBi GaAs (z =0)=1, ), Ô μ ±μ³ ± (DBi GaAs (z = R p )=6, ) Å ±É Î ± 2 μ Ö ± ² Î Ò μ²óï, Î ³ μ μ ² Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö. Œμ É ÒÉÓ, É - ± Ö Ò μ± Ö μ μ μ ² μ ²ÊÎ Ö ± É ²²μ μ ³ 86 Kr É Ë ± Í Ë ±Éμμ μ Ö μ ² É ²Ó μ μ Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö Å Î Éμ μ, ÎÉμ μ ³μ μ μ²êî ÉÓ ± Î É Ò μ - Î Ò ±μ² Ò μ ²ÊÎ ÒÌ Ô² ±É μ ³ μ ³ ± Éμ ± É ²- ²μ InP GaAs. μ Î Ò ±μ² Ìμ μï μ ± Î É μ²êî É Ö μ Í G As, μ ²ÊÎ μ³ ³ ÓÏ μ μ 209 Bi, ÔÉμ μ μ²ö É ²Õ ÉÓ É Ð Ò

32 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1623 Éμ²Ó±μ ²μ ²Ê Ì, ÒÏ ÕÐ Ì ² Ê μ μ μ 209 Bi ( ³.. 15,, ). Éμ Ò μ ÑÖ ÉÓ ² Ö Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö, μ μ É ÊÕÐ μ ³ - Ì Î ±μ³ê ÊÏ Õ μ Íμ, ³Ò μí ² ÎÊ É É ²Ó μ ÉÓ ³ É - ² ± Ô² ±É μ Ò³ μé Ö³ Ô. μé [63] Ò² ³ É η = Q/ H f. Ó H f Å ± ÒÉ Ö É ²μÉ ² ² Ö, Q =0,63 Einel z πλ 2 Å ÖÖ ²μÉ μ ÉÓ Ô, Ò ² Ö μ μ³ Í ² Ê μ³ λ, - Ò³ ² μ μ μ μ μ Ô² ±É μ. ² ³ É Ê μ ² - É μ Ö É Ê ²μ Õ η > η cr1 = 1,3, Ï É± ³ É É Ö ± ± ÎÊ É - É ²Ó Ö ± Ê Ê ³ μé Ö³ Ô ; ² η < η cr2 = 0,7, Éμ Ï É± Î É É Ö ÎÊ É É ²Ó μ ± Ê Ê ³ μé Ö³ Ô μ. - μ η cr2 η η cr1 μ É ÉμÎ μ μ²ó Ê ³ÒÌ ³ É μ μ μ²ö É ² ÉÓ ± ±μ μ-² μ ±μ ± É μ μ ±²ÕÎ Ö. ÒÎ ² Ò - ÉμÖ Ö ³ Ê μ² μ Ò³ ÉμÎ Î Ò³ Ë ±É ³, μ - Ò³ Ô² ±É μ Ò³ μ ²ÊÎ ³, Ò² Ò Ò ± Î É ² Ò μ μ μ μ μ μ Ô² ±É μ. μ² μ Ò ËÊ ±Í μ μ ÒÌ Ô² ±É μ μ ²Ó μ³ ± É ²² É ²ÖÕÉ É ²ÖÍ μ μ- É Ò ËÊ ±Í ²μÌ [28, 56]. ÊÉ É ± ÊÏ É μ Î μ ÉÓ ± É ²², ÔÉμ μ ÊÐ ± É Ö Ê³ Ò³. ÉμÖ Ö ³ Ê ÉμÎ Î Ò³ Ë ±É ³, μ ±Ï ³ μ ² Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö, ²Ö InP GaAs Ò μμé É É μ 12,1 ³ 12,5 ³. É Î Ö ³Ò ² ³ μ μ μ μ μ Ô² ±É μ μ ³ É ²² Ì [11]. Š ± μ± ² ÒÎ ² Ö, ²Ö ³μ μ± É ²² InP - ³ É η Kr =0,88. ²Ö ³μ μ± É ²² GaAs ³ ³ ³ É : η Kr =0,83 (μ ²ÊÎ μ ³ ± Éμ ), η Bi =1,34 (μ ²ÊÎ μ ³ ³ÊÉ ) [64]. μ Ì ²ÊÎ ÖÌ η ÒÏ É ² ÎÊ É É ²Ó μ É ± É ²² ± Ô² ±É μ Ò³ μé Ö³ Ô, η cr =0,7. μ μ [65] É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ, μ Ò ÕÐ ² Ö μéμ- Î ±μ μ μ Ö ± ± É Î ± ±μôëë Í ÉÒ μ²ê μ μ ±μ ± É ²²μ ²μ μ Ð ²μÎ ÒÌ ³ É ²²μ, É ± Ì ± ± ²³ ( 12 C 1 x 13 C x ), 70 Ge nat x Ge 1 x Li 1 x 6 Li x F. É ² Ò É ± ³μ ² ²Ö ÒÎ ² Ö ³ Ö ÔÉ Ì ±μôëë Í Éμ. ɳ É ³, ÎÉμ Ê ² Î ±μ Í É - Í μéμ 13 ²³ μé 0,001 μ 10 % ( Î ÉÒ μ Ö ± ² Î Ò μ ±μ Í É Í ) ±μ³ É μ É ³ ÉÊ ( 300 K) É ²μ μ μ μ ÉÓ Ê³ ÓÏ É Ö 4. Î É ²Ó Ò ³ Ö É ²μ μ μ μ É Ò Ò ³ ³ Éμ³ μ μ μéμ Ï É± ( ³ Ð ³ Éμ³ Ï É± 12 Éμ³Ò μéμ 13, É.. μé μ É ²Ó Ò³ ³ ³ Éμ³ μ μ ² ÏÓ 8 %), ± ± ² É, ÊÏ ³ É ²ÖÍ μ μ É- μ É ± É ²². ²ÊÎ Ô² ±É μ μ μ μ ²ÊÎ Ö μ μ Ö D e = 9, ±, μ ÊÕÐ Ö ± É ²² Ì InP GaAs, Ö ²Ö- ÕÉ Ö Í É ³ ÊÏ Ö É ²ÖÍ μ μ ³³ É ± É ²² Ì μ -

33 1624 Œˆ ˆ.. ˆ. μ Ò³ Í É ³ Ö Ö μ Ê ÒÌ Ô² ±É μ μ. Éμ μ É ± Ê ² Õ Ô² ±É μ -Ëμ μ ÒÌ ³μ É μ² É μ³ê - Õ Ï É± μ ² É μ± Ê É ±Éμ ÉÖ ²μ μ μ. Éμ ³μ É Ê³ ÓÏ ÉÓ Ô² ±É μ ÊÕ Ï ÉμÎ ÊÕ É ²μ μ μ μ É, ± ± ² É, É ± Ê ² Î Õ ³ ÊÐ É μ Ö, ², Éμ μ ² É μ± Ê É ±Éμ ÉÖ ²ÒÌ μ μ. μí Ò ²μ± ²Ó μ μ ² ² Ö μ ² ÊÕÐ Î É Î μ ± É ²² Í ÔÉμ μ Éμ μ μ Ñ ³ Ò Ò- ÕÉ μ μ μ μ² É ²Ó ÒÌ Ë ±Éμ μ² μ ± É ²² Í, μ ³μ μ, Î É Î ÊÕ ³μ Ë Í Õ μ ²ÊÎ μ μ ²μÖ ± É ²². ² Ö É ²Ó μ μ Ê μ Ö μî Ö μ ² μ ²ÊÎ Ö Ô² ±É μ- ³ Ô Ö³ ŒÔ - μ ÔËË ±ÉÒ ³μ É Ö Ò É ÒÌ μ- μ ± É ²² ³ InP GaAs Ò²μ ² μ μ μé Ì [60, 64]. Ò²μ μ± μ, ÎÉμ É ²Ó μ μ ²ÊÎ Ô² ±É μ ³ μ É ± μ μ- Õ ³ ± μ Ë ±Éμ μí μ ² ÊÕÐ μ μ ²ÊÎ Ö InP GaAs É - ± ³ μ ³. ³ ²ÒÌ Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö ( μ Ò 209 Bi, E Bi = 710 ŒÔ, F Bi t =1, ³ 2 ) ²μ ³ ± μ Ë ±É ³ Éμ É ³Ò É - Ð Ê μμ μ É Ê±ÉÊ μ μ Ê É Ö μ μ μ É μ ± μ μ ³ÊÉ. ²Õ ³Ò ²Ó Ò É Ð (. 15, ) ²Ê ² ±μ Í μ- μ É ²Ó É Ê É μ Î É ²Ó ÒÌ ³ Ì Î ± Ì Ö ÖÌ ÔÉμ μ ² É ; μ- ³μ³Ê, Ê μ Ó Ö ÒÏ ² μî μ É μ ²Ê- Î ÒÌ μ Íμ ³μ μ± É ²²μ GaAs. Ê ² Î ³ Ë²Õ μ ²ÊÎ Ö ( μ Ò 86 Kr, E Kr = 253 ŒÔ, F Kr t =1, ³ 2 ) ³ ± μ Ë ±ÉÒ - ÕÉ Ö, ³ ± μé Ð Ò Ò Ò μ ÊÕÉ Ö Ê μ Ì μ É ± É ²²μ InP GaAs [60, 64]. Ëμ ³Ê² Ê ³ ± ɱμ μ μ Ò Ê²ÓÉ ÉÒ μ μ ² μ μ. Ò² É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ ÊÎ Ö ² Ö Ö μ ²ÊÎ Ö ÉÖ ²Ò³ μ ³ μ ² É Ê Ê Ì μé Ó Ô É Ê±ÉÊ Ê Ö Î ÉÒÌ ³ É ²²μ, ³ É ²- ² Î ± Ì ³μ Ë ÒÌ ² μ, ƒ μ²ê μ μ ±μ ÒÌ ³μ μ± É ²²μ Si, GaAs InP. Ò²μ μ± μ, ÎÉμ ±μôëë Í É (Ê μ Ó) Ò² Ö ÊÐ - É μ É μé μ ÉμÖ Ö μ ²ÊÎ μ μ Ì μ É ²μÉ μ É Ë ±Éμ ± É ²² Î ±μ ³ Ï, μé Éμ μ, Ò² ² Ë ±ÉÒ (ÉμÎ Î Ò Ë ±ÉÒ, μéö Ò Ë ±ÉÒ.) Ò μ μ ²ÊÎ Ö ² Ö ²ÖÕÉ Ö Ê²ÓÉ - Éμ³ Ì ±μ ² Ö μ É μ μí μ ²ÊÎ Ö. ÊÉ É ÔÉ Ì Ë ±Éμ ÊÐ É μ Ê ² É ² Ö Ê Ê Ì μé Ó Ô Ò μ±μ- Ô É Î ± Ì ÉÖ ²ÒÌ μ μ, ² μ É ²Ó μ, Ê ² Î ±μôëë Í Éμ Ò² Ö. μôéμ³ê ² Ê É μ ÉÓ ²Ó ÒÌ μ μ μ μ É Ò² - Ö μ Ì μ É ± Ê μ ÉÒÌ μ² ± É ²² Î ± Ì ³ É ²μ, Éμ³ Î ² ³μ μ± É ²²μ, Ò μ±μô É Î ± ³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ò- μ± Ì Ë²Õ Ì μ ²ÊÎ Ö, ± ± ÔÉμ Ò²μ μ± μ μ Í Ì ÕÐ É ² Si, μ ²ÊÎ ÒÌ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³. Ò² Í Ì ³ μ μ ²Ó, Î ³ Ò² μ Ì- μ É ³μ μ. ²Ö ³μ μ± É ²²μ μ É Ê±ÉÊ μ, ² ±μ ± ²Ó μ

34 ˆ ˆ Œ Ÿ ˆ 1625 ±μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ É Ê±ÉÊ Ò ³, ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö ² ± ± ± Ò ³Ò³ ± ± μ ³μ ²ÓÕ Ê Ê μ μ Ò- ² Ö [3, 4, 10, 11, 29Ä31, 44]. μ ÉÓ μ ² ³Ò Ò² Ö μ ² ÉÖÌ Ö μ É Ì ±, ³ ² - É Í ÉÖ ²ÒÌ μ μ Ò μ± Ì Ô μ μé± ³ É ²μ ²Ö μ - Ö μ ÒÌ É Ì μ²μ ² É μ Ìμ ³Ò³ μ μ² Ô± ³ É ²Ó- ÒÌ É μ É Î ± Ì ² μ μ ³ Õ μ μ ÒÌ μ É ³ É - ²μ μ ²ÊÎ Ì Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ Ê ³ μ ÊÉ É ÊÕ- Ð ³ Ö μ-ë Î ± ³ ²ÊÎ Ö³, ÎÉμ Ò É ²Ó μ Ê É μ ÉÓ ² Î- Ò ±ÉÒ ÔÉ Ì Ö ². ± ³ μ μ³, Ò² μ Ò Ô± ³ É ²Ó Ò ² μ Ö μ - É Ö Ò É ÒÌ ÉÖ ²ÒÌ μ μ μ Ì μ É ³ É ²²μ, ³ É ²² Î ± Ì ² μ, ³μ Ë ÒÌ ² μ ƒ μ ² É Ê Ê Ì μé Ó Ô, É ± μ μ ÑÖ Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ê²ÓÉ Éμ μ É ÊÉμ³ Ê μ ³ ÕÐ Ì Ö μ Ìμ μ ³μ ². μ μ ÒÌ, μ²êî ÒÌ ²Ö Ni, Au ƒ, ³μ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ μ μ É ±, ² μ - É ²Ó μ, Ò μ± ±μôëë Í ÉÒ Ö ( Ò² Ö) ³ ÕÉ ³ Éμ ²Ê- Î ²Ó μ Ê μ Ö μî ÒÌ É ³ ² ³ É ² Ì μé μ É ²Ó μ - ±μ ±μ Í É Í μ μ ÒÌ Ô² ±É μ μ ( Ô² ±É ± Ì ±μéμ ÒÌ μ²ê- μ μ ± Ì). Ò²μ μ± μ, ÎÉμ ²Ö μ μ ÖÐ Ì ³ É ²μ, ±μ Ò- μ² Ö É Ö Ê ²μ τ L τ h ±μ Ë ±É μ μ, Éμ³Ò Ï É± μ± Ê É ±Éμ Ò É μ μ ÉÖ ²μ μ μ ÕÉ Ö (μ É ÕÉ Ö Ìμ²μ Ò- ³ ) μ ÕÉ μ ÖÎ É ±. ²μ τ L τ h ÊÏ É Ö - Í ³ Ê ³, É ± μ ² É Ò μ±μ ±μ Í É Í Ë ±Éμ, ± ± ÔÉμ ³μ μ ÉÓ ²Ö Ni, É ²Ó μ μ ²ÊÎ μ μ μ ³ ± Éμ Ò μ± ³ Ë²Õ μ³ É ³ μ ²ÊÎ μ μ Éμ Î μ μ²ó μ ³ É ± Ò ³μ μ ³ Éμ ÉÊ Ó± (c³.. 3), ²Ö É ²Ó μ ²Ó μ Ëμ ³ μ μ μ Au. ʲÓÉ É, ±μ Ò É Ò ÉÖ ²Ò μ μìμ É ± μ Ó É ±ÊÕ μ ² ÉÓ, μ É Ö μ ÖÎ É ± ³μ ÊÉ μ Ìμ ÉÓ μ- Í Ò, μ Ê ²μ ² Ò ³ Éμ³μ ³ Ï. ˆ μ²ó ÊÖ ²Õ ³Ò μ Ì μ É Ò ÔËË ±ÉÒ ² Î ÒÌ É ÒÌ É ² Ì Ì μ ²ÊÎ Ò É Ò³ ÉÖ ²Ò³ μ ³ ² Î Ò³ Ê Ê- = ( E/ z) inel μ²óï É μ Ô± ³ - É ²Ó ÒÌ Ê²ÓÉ Éμ μ μ ² μ μ, ³μ μ ² ÉÓ Ò μ, ÎÉμ ±- É Î ± ²Ö Ì ³ É ²μ ±μôëë Í ÉÒ Ò² Ö μ²óï, Î ³ - ± Ò É ³μ ²Ó Ê Ê μ μ ± ± μ μ Ò² Ö [29Ä31]. Š ± Ò²μ μ± μ ÒÏ, Ò (1) [44] ³μ μ μ²ó μ ÉÓ ²Ö ÒÎ ² Ö É ³ ÉÊ Ò Ï É± É ÒÌ É ² Ì Ò μ±μ ±μ Í É Í ³ μé Ö³ Ô E inel z Ë ±Éμ ² ³μ Ë ÒÌ É ÒÌ É ² Ì. μ Ìμ ³μ ² ± ÉÓ Ê ³μ ² Ê Ê μ μ Ò² Ö [3] Î Éμ³ É ³ ÉÊ ÒÌ ÔËË ±Éμ μ μ ³μ ² É ³ Î ±μ μ ± [9, 12Ä16, 28, 31, 36, 39, 42Ä44, 56, 57] ²Ö μ Ö Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ê²ÓÉ Éμ.

35 1626 Œˆ ˆ.. ˆ. 2. ˆŸ Ÿ ˆ ˆŸ Š ˆ Œ É ³Ê Ö ÒÌ ËË Í ²Ó ÒÌ Ê Î É ÒÌ μ μ - ÒÌ Í ² Î ± Ì ±μμ É Ì ³μ μ ÉÓ ± ± [14Ä16,42,56,63,67] C e (T e ) T e t = 1 r ( rλ e (T e ) T ) e + ( λ e (T e ) T ) e r r z z g(t e )(T e T i )+A(r, z, t), (2a) C(T i ) T i t = 1 ( rλ i r r (T i) T ) i + ( λ i (T i ) T ) i + g(t e )(T e T i ). (2 ) r z z ÔÉ Ì Ê ÖÌ Ê ²Ó Ò É ²μ ³±μ É É ²μ μ μ μ É ÖÉ μé É ³ ÉÊ Ò. Ó z ² ±Ê²Ö μ ²μ ±μ É μ ²ÊÎ ³μ ³ Ï, É.. μ Õ ÉÖ ²μ μ μ. μ μ Ò μ Ê ²Ê μé ÊÉ É ÊÕÉ Ê Í ² Î ±μ ³³ É Ê ²Ó ÒÌ μ ÊÕÐ Ì μé Ó Ô ÉÖ ²μ μ μ. T e (r, z, t) T i (r, z, t) Å É ³ ÉÊ Ò Ô² ±É μ μ Ï É±. C e (T e ), C i (T i ) λ e (T e ), λ, i (T i ) Å Ê ²Ó Ò É ²μ ³±μ É Ê ²Ó Ò É - ²μ μ μ μ É Ô² ±É μ μ Ï É± μμé É É μ. ³ μ²ò μ Î ÕÉ, ÎÉμ É ²μ μ μ μ ÉÓ ³μ μ± É ²²μ ³μ É ÉÓ μé μ - É Í μ ± É ²², μ μμé É É ÊÕÉ ² Ö³ μ²ó ±Ê- ²Ö μ μ Ì μ É. ŠμÔËË Í É g(t e ) Ì ±É Ê É ³μ É ³ Ê Ô² ±É μ μ μ É ³μ Ï É±μ μ Ð ³ ²ÊÎ É μé Ô² ±É μ - μ É ³ ÉÊ Ò. Ê ±Í Ö A(r, z, t) Å μ Ñ ³ Ö ²μÉ μ ÉÓ μ ³μ μ μ³ ³μÐ μ É. ÉÊ ËÊ ±Í Õ ³μ μ ÉÓ μ² Î Éμ μ²ó Ê - ³μ μ Ò Ö [17, 39, 56, 66Ä68]: A(r, z, t) =bs inel0 exp ( (t t 0) 2 ) ) exp ( rr0 μ(z). (3) Ó ËÊ ±Í Ö μ(z) Å μë ²Ó μ Í μ ÒÌ μé Ó Ô ÉÖ ²μ μ μ S inel (z), μ ³ μ Ò Î μ Í μ ÒÌ μé Ó Ô ² μ Ì μ É ³ Ï S inel0 : μ(z) = S ( ) inel(z) E, S inel0 = S inel (z =0), S inel =. (4) S inel0 z inel ³Ö μ É Ö μ μ μ ² Ö Ô² ±É μ μ, É.. ³Ö μ- μ μ μ μ δ-ô² ±É μ μ μ Ô ε e, μ É ²Ö É t 0 (1 5) μ²êï ² Ö μ ³ ÖÉ μ σ t = t 0 2σ 2 t